| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目录 | 第10-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-30页 |
| ·论文选题意义 | 第14-15页 |
| ·研究背景介绍 | 第15-20页 |
| ·光互连技术及功率分配器 | 第15-18页 |
| ·浊度测试技术及现状 | 第18-20页 |
| ·传统硅材料及高聚物的应用 | 第20-22页 |
| ·传统硅材料应用技术 | 第20-21页 |
| ·高聚物材料相关介绍 | 第21-22页 |
| ·工艺简介 | 第22-27页 |
| ·传统光刻技术 | 第22-24页 |
| ·软光刻技术 | 第24-25页 |
| ·激光直写技术 | 第25-27页 |
| ·本论文涉及的具体研究内容及创新点 | 第27-28页 |
| ·本论文内容及结构安排 | 第27-28页 |
| ·研究创新点概要 | 第28页 |
| ·本章小节 | 第28-30页 |
| 第2章 波导理论及数学计算方法 | 第30-44页 |
| ·电磁理论及平面波方程 | 第30-31页 |
| ·平板波导模型中的传输波 | 第31-36页 |
| ·波导等效折射率法(Effective Index Method) | 第36-38页 |
| ·光束传输法(Beam Propagation Method,BPM) | 第38-42页 |
| ·纯量、轴向光束传输法(scalar,Paraxial BPM) | 第39-41页 |
| ·大角度光束传输法(Wide-Angle BPM) | 第41-42页 |
| ·光线追迹法(Monte Carlo Ray Tracing Method) | 第42-43页 |
| ·本章小节 | 第43-44页 |
| 第3章 光互连用多模功率分配器设计及制作 | 第44-66页 |
| ·相关技术背景 | 第44-45页 |
| ·传统Y分叉功率分配器 | 第45页 |
| ·多模光功率分配器设计 | 第45-57页 |
| ·现有的多模光功率分配器相关设计 | 第46-49页 |
| ·对称直波导多模Y分叉分光特性 | 第49-50页 |
| ·基于圆弧波导的分叉研究 | 第50-52页 |
| ·非对称圆弧Y分叉研究 | 第52-54页 |
| ·分配器整体结构的设计 | 第54-55页 |
| ·分配器具体参数以及器件输出分析 | 第55-57页 |
| ·多模光功率分配器制作 | 第57-59页 |
| ·激光直写装置介绍 | 第57-58页 |
| ·激光直写流程介绍 | 第58-59页 |
| ·除胶、显影工艺介绍 | 第59-62页 |
| ·多模功率分配器样品及测试 | 第62-64页 |
| ·1×4及1×8多模分配器实际外观说明 | 第62-63页 |
| ·通光实验及端口输出情况分析 | 第63-64页 |
| ·本章小节 | 第64-66页 |
| 第4章 基于软光刻的1×8非对称多模光功率分配器 | 第66-76页 |
| ·多模功率分配器的总体结构设计 | 第66-67页 |
| ·相关的理论计算 | 第67-73页 |
| ·直线Y分叉 | 第67-68页 |
| ·圆弧波导相关理论计算 | 第68-70页 |
| ·分配器整体结构参数的确定 | 第70-73页 |
| ·器件加工与制作 | 第73-74页 |
| ·相关实验及结果 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第5章 激光直写浊度传感单元研究 | 第76-108页 |
| ·光散射理论及原理 | 第76-85页 |
| ·散射分类的依据 | 第77页 |
| ·光散射模型分析 | 第77-80页 |
| ·瑞利散射 | 第80-82页 |
| ·米氏散射理论 | 第82-85页 |
| ·浊度传感系统的关键组成部分 | 第85-88页 |
| ·光源 | 第86页 |
| ·探测器 | 第86-87页 |
| ·系统光学几何特性 | 第87-88页 |
| ·各种标准对浊度传感系统的规定 | 第88-89页 |
| ·EPA Method 180.1 | 第88页 |
| ·GLI Method 2 | 第88-89页 |
| ·ISO 7027标准 | 第89页 |
| ·常见的浊度传感系统 | 第89-92页 |
| ·单光束浊度计 | 第89-90页 |
| ·分光束比浊度计 | 第90-91页 |
| ·调制四光束浊度计 | 第91页 |
| ·表面散射浊度计 | 第91-92页 |
| ·微型化浊度传感单元及系统设计 | 第92-99页 |
| ·传感系统整体规划 | 第92-93页 |
| ·传感单元结构设计 | 第93-96页 |
| ·基于激光直写方式的传感单元制作 | 第96-97页 |
| ·实际器件相关参量分析 | 第97-99页 |
| ·测量原理介绍 | 第99-101页 |
| ·神经元网络算法介绍 | 第101-104页 |
| ·神经元网络分类 | 第101-103页 |
| ·神经元网络的建立及浊度计算方法 | 第103-104页 |
| ·实验及结果 | 第104-107页 |
| ·系统搭建 | 第104页 |
| ·样品制备及测试 | 第104-105页 |
| ·实验及结果分析 | 第105-107页 |
| ·本章小节 | 第107-108页 |
| 第6章 总结和展望 | 第108-110页 |
| ·工作总结 | 第108-109页 |
| ·展望及分析 | 第109-110页 |
| 参考文献 | 第110-120页 |
| 个人简历和学术论文成果 | 第120-121页 |
