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磁控溅射硒化锑薄膜的材料和光伏性能的研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第11-19页
    1.1 研究背景与意义第11-13页
    1.2 硒化锑薄膜太阳能电池国内外研究现状第13-15页
        1.2.1 硒化锑薄膜太阳能电池国外研究现状第13-14页
        1.2.2 硒化锑薄膜太阳能电池国内研究现状第14-15页
    1.3 硒化锑材料及其性质第15-17页
    1.4 硒化锑薄膜的制备方法第17页
    1.5 论文主要研究内容第17-19页
第二章 磁控溅射制备硒化锑薄膜的研究第19-39页
    2.1 磁控溅射基本原理第19-20页
    2.2 实验步骤第20-23页
        2.2.1 薄膜制备步骤第20-21页
        2.2.2 硒化锑薄膜表征方法第21-23页
    2.3 不同溅射功率硒化锑薄膜制备与表征第23-30页
        2.3.1 硒化锑薄膜制备第23-24页
        2.3.2 硒化锑薄膜的表征第24-30页
    2.4 不同衬底温度下硒化锑薄膜制备及表征第30-36页
        2.4.1 硒化锑薄膜制备第30-31页
        2.4.2 硒化锑薄膜表征第31-36页
    2.5 不同腔体压强下硒化锑薄膜制备及表征第36-37页
        2.5.1 硒化锑薄膜制备第36-37页
    2.6 本章小结第37-39页
第三章 不同衬底温度硒化锑薄膜太阳电池制备与研究第39-45页
    3.1 硒化锑薄膜电池制备第39-40页
    3.2 硒化锑薄膜太阳能电池性能测试第40-43页
    3.3 本章小结第43-45页
第四章 氧化锌缓冲层硒化锑薄膜太阳能电池第45-55页
    4.1 氧化锌薄膜制备第45-46页
    4.2 氧化锌薄膜表征第46-49页
    4.3 氧化锌缓冲层硒化锑太阳能电池制备第49-50页
    4.4 氧化锌缓冲层硒化锑薄膜太阳能电池测试第50-51页
    4.5 氧化锌硫化镉硒化锑太阳能电池制备及测试第51-52页
    4.6 本章小结第52-55页
第五章 总结及展望第55-57页
参考文献第57-63页
致谢第63-64页
硕士期间发表学术成果第64页

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