磁控溅射硒化锑薄膜的材料和光伏性能的研究
摘要 | 第5-7页 |
Abstract | 第7-8页 |
第一章 绪论 | 第11-19页 |
1.1 研究背景与意义 | 第11-13页 |
1.2 硒化锑薄膜太阳能电池国内外研究现状 | 第13-15页 |
1.2.1 硒化锑薄膜太阳能电池国外研究现状 | 第13-14页 |
1.2.2 硒化锑薄膜太阳能电池国内研究现状 | 第14-15页 |
1.3 硒化锑材料及其性质 | 第15-17页 |
1.4 硒化锑薄膜的制备方法 | 第17页 |
1.5 论文主要研究内容 | 第17-19页 |
第二章 磁控溅射制备硒化锑薄膜的研究 | 第19-39页 |
2.1 磁控溅射基本原理 | 第19-20页 |
2.2 实验步骤 | 第20-23页 |
2.2.1 薄膜制备步骤 | 第20-21页 |
2.2.2 硒化锑薄膜表征方法 | 第21-23页 |
2.3 不同溅射功率硒化锑薄膜制备与表征 | 第23-30页 |
2.3.1 硒化锑薄膜制备 | 第23-24页 |
2.3.2 硒化锑薄膜的表征 | 第24-30页 |
2.4 不同衬底温度下硒化锑薄膜制备及表征 | 第30-36页 |
2.4.1 硒化锑薄膜制备 | 第30-31页 |
2.4.2 硒化锑薄膜表征 | 第31-36页 |
2.5 不同腔体压强下硒化锑薄膜制备及表征 | 第36-37页 |
2.5.1 硒化锑薄膜制备 | 第36-37页 |
2.6 本章小结 | 第37-39页 |
第三章 不同衬底温度硒化锑薄膜太阳电池制备与研究 | 第39-45页 |
3.1 硒化锑薄膜电池制备 | 第39-40页 |
3.2 硒化锑薄膜太阳能电池性能测试 | 第40-43页 |
3.3 本章小结 | 第43-45页 |
第四章 氧化锌缓冲层硒化锑薄膜太阳能电池 | 第45-55页 |
4.1 氧化锌薄膜制备 | 第45-46页 |
4.2 氧化锌薄膜表征 | 第46-49页 |
4.3 氧化锌缓冲层硒化锑太阳能电池制备 | 第49-50页 |
4.4 氧化锌缓冲层硒化锑薄膜太阳能电池测试 | 第50-51页 |
4.5 氧化锌硫化镉硒化锑太阳能电池制备及测试 | 第51-52页 |
4.6 本章小结 | 第52-55页 |
第五章 总结及展望 | 第55-57页 |
参考文献 | 第57-63页 |
致谢 | 第63-64页 |
硕士期间发表学术成果 | 第64页 |