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用脉冲激光沉积制备SrTiO3/Nb:SrTiO3异质结及其光电特性研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
第一章 绪 论第8-28页
   ·引言第8-9页
   ·SrTiO_3的晶体结构和物理特性第9-15页
   ·SrTiO_3的光学特性及其研究进展第15-20页
   ·SrTiO_3薄膜制备方法概述第20-22页
   ·脉冲激光沉积法的研究进展及优越性第22-25页
   ·本论文研究目的、方法综述第25-28页
第二章 脉冲激光沉积过程中光与物质的相互作用第28-48页
   ·脉冲激光沉积(PLD)基本原理与过程第28-31页
   ·脉冲激光与靶物质的相互作用第31-34页
   ·脉冲激光与等离子体的相互作用第34-43页
   ·激光参数对PLD过程的影响第43-47页
 本章小结第47-48页
第三章 SrTiO_3薄膜的脉冲激光沉积制备工艺研究第48-60页
   ·PLD实验系统及过程第48-49页
   ·SrTiO_3薄膜生长工艺第49-51页
   ·氧分压对SrTiO_3薄膜生长的影响第51-53页
   ·衬底温度对SrTiO_3薄膜生长的影响第53-56页
   ·衬底与靶距离对SrTiO_3薄膜生长的影响第56-57页
   ·衬底类型对SrTiO_3薄膜微观结构的影响第57-59页
 本章小结第59-60页
第四章 SrTiO_3/Nb:SrTiO_3异质结的制备与表征第60-74页
   ·SrTiO_3/Nb:SrTiO_3异质结的制备第60页
   ·X射线衍射谱第60-62页
   ·薄膜厚度的测量第62-63页
   ·透射电子显微镜图像第63-64页
   ·薄膜介电常数特性第64-68页
   ·拉曼光谱第68-73页
 本章小结第73-74页
第五章 SrTiO_3/Nb:SrTiO_3异质结的电学特性第74-92页
   ·半导体异质结及其能带结构第74-77页
   ·半导体异质结中的电流传输机制第77-78页
   ·STO/NSTO异质结的电流-电压特性第78-84页
   ·STO/NSTO异质结的电阻开关现象第84-91页
 本章小结第91-92页
第六章 SrTiO_3/Nb:SrTiO_3异质结的光电效应第92-110页
   ·光与半导体相互作用的基本概念与过程第92-100页
   ·半导体异质结的光生伏特效应第100-103页
   ·STO薄膜及STO/NSTO异质结的光电导现象第103-106页
   ·STO/NSTO异质结的光生伏特效应第106-108页
 本章小结第108-110页
结论第110-112页
致谢第112-113页
参考文献第113-119页
攻读博士学位期间完成的论文第119页

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