| 摘要 | 第5-8页 |
| ABSTRACT | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第14-33页 |
| 1.1 等离子波导研究的目的和意义 | 第14-17页 |
| 1.2 等离子波导的国内外研究现状 | 第17-29页 |
| 1.3 本文主要工作与安排 | 第29-33页 |
| 第二章 微纳光纤及其等离子波导 | 第33-52页 |
| 2.1 微纳光纤制作工艺 | 第33-39页 |
| 2.2 微纳光纤的特性 | 第39-44页 |
| 2.3 基于微纳光纤的等离子波导 | 第44-50页 |
| 2.3.1 常用的模型分析方法 | 第44-47页 |
| 2.3.2 等离子波导原理 | 第47-48页 |
| 2.3.3 基于微纳光纤的等离子波导器件 | 第48-50页 |
| 2.4 本章小结 | 第50-52页 |
| 第三章 微纳光纤等离子波导结构的传输特性研究 | 第52-79页 |
| 3.1 微纳光纤等离子波导结构的传输特性理论分析 | 第52-61页 |
| 3.2 金属薄膜的制作流程 | 第61-64页 |
| 3.2.1 金属薄膜的制作 | 第61-62页 |
| 3.2.2 金属薄膜均匀性测量 | 第62-64页 |
| 3.3 微纳光纤等离子波导结构的传输特性实验研究 | 第64-77页 |
| 3.3.1 水平结构微纳光纤等离子波导传输特性的实验研究 | 第64-71页 |
| 3.3.2 弯曲结构微纳光纤等离子波导传输特性的实验研究 | 第71-77页 |
| 3.4 本章小结 | 第77-79页 |
| 第四章 微纳光纤与布拉格金属光栅构成的等离子波导滤波特性研究 | 第79-100页 |
| 4.1 微纳光纤与布拉格金属光栅构成的等离子波导滤波特性理论分析 | 第79-84页 |
| 4.1.1 金属光栅结构参数的仿真 | 第79-82页 |
| 4.1.2 金属光栅的特性研究 | 第82-84页 |
| 4.2 金属光栅的制备工艺流程 | 第84-90页 |
| 4.2.1 制备工艺流程 | 第85页 |
| 4.2.2 金膜的沉积 | 第85-86页 |
| 4.2.3 电子束光刻 | 第86-87页 |
| 4.2.4 离子束刻蚀 | 第87-90页 |
| 4.3 微纳光纤与布拉格金属光栅构成的等离子波导滤波特性实验研究 | 第90-98页 |
| 4.4 本章小结 | 第98-100页 |
| 第五章 微纳光纤、GST光栅和金膜构成的三明治结构等离子波导的滤波特性探索研究 | 第100-124页 |
| 5.1 GST材料特性及应用 | 第100-102页 |
| 5.2 微纳光纤、GST光栅和金膜构成的三明治结构等离子波导的滤波特性理论分析 | 第102-109页 |
| 5.2.1 GST光栅器件结构 | 第102-104页 |
| 5.2.2 GST光栅结构参数仿真 | 第104-107页 |
| 5.2.3 GST光栅滤波性能参数仿真 | 第107-109页 |
| 5.3 GST光栅器件的制备工艺流程 | 第109-115页 |
| 5.4 微纳光纤、GST光栅和金膜构成的三明治结构等离子波导的滤波特性实验研究 | 第115-122页 |
| 5.5 本章小结 | 第122-124页 |
| 第六章 总结与展望 | 第124-129页 |
| 6.1 本文主要工作 | 第124-126页 |
| 6.2 本文创新点 | 第126-127页 |
| 6.3 研究展望 | 第127-129页 |
| 参考文献 | 第129-146页 |
| 附录一 符号与标记 | 第146-147页 |
| 攻读博士学位期间已发表或录用的论文 | 第147-148页 |
| 攻读博士学位期间参与的科研项目 | 第148-149页 |
| 致谢 | 第149-150页 |
