| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 全固态薄膜锂电池 | 第12-15页 |
| 1.3 固态电解质薄膜 | 第15-19页 |
| 1.3.1 NASICON结构 | 第15-16页 |
| 1.3.2 石榴石结构 | 第16-17页 |
| 1.3.3 LISICON结构 | 第17-18页 |
| 1.3.4 钙钛矿结构 | 第18-19页 |
| 1.4 LLTO薄膜的研究进展 | 第19-20页 |
| 1.5 本文的研究目的与主要内容 | 第20-22页 |
| 第二章 薄膜的制备与表征 | 第22-33页 |
| 2.1 薄膜的形成过程 | 第22页 |
| 2.2 制备薄膜的方法 | 第22-27页 |
| 2.2.1 真空蒸镀技术 | 第23页 |
| 2.2.2 脉冲激光沉积技术 | 第23-24页 |
| 2.2.3 电子束蒸发沉积技术 | 第24-25页 |
| 2.2.4 离子束沉积技术 | 第25-26页 |
| 2.2.5 分子束外延技术 | 第26页 |
| 2.2.6 溅射镀膜技术 | 第26-27页 |
| 2.3 磁控溅射法制备薄膜的原理 | 第27-28页 |
| 2.4 实验部分 | 第28-31页 |
| 2.5 薄膜性能表征方法 | 第31-32页 |
| 2.5.1 X射线晶体衍射分析(XRD) | 第31页 |
| 2.5.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第31页 |
| 2.5.3 原子力显微镜(AFM) | 第31页 |
| 2.5.4 交流阻抗分析测试(ACImpedance) | 第31-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 氧分压对LLTO薄膜的影响 | 第33-40页 |
| 3.1 氧分压对LLTO薄膜结构的影响 | 第33-34页 |
| 3.2 氧分压对LLTO薄膜形貌的影响 | 第34-36页 |
| 3.3 氧分压对薄膜电学性能的影响 | 第36-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 衬底温度对LLTO薄膜的影响 | 第40-45页 |
| 4.1 衬底温度对LLTO薄膜结构的影响 | 第40-41页 |
| 4.2 衬底温度对LLTO薄膜形貌的影响 | 第41-42页 |
| 4.3 衬底温度对LLTO薄膜电学性能的影响 | 第42-44页 |
| 4.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 热处理温度对LLTO薄膜的影响 | 第45-52页 |
| 5.1 热处理温度对LLTO薄膜结构的影响 | 第45-46页 |
| 5.2 热处理温度对LLTO薄膜形貌的影响 | 第46-48页 |
| 5.3 热处理温度对LLTO薄膜电学性能的影响 | 第48-50页 |
| 5.4 本章小结 | 第50-52页 |
| 第六章 LLTO薄膜包覆钴酸锂正极 | 第52-56页 |
| 6.1 实验材料和仪器 | 第52页 |
| 6.2 实验流程 | 第52-53页 |
| 6.3 电池性能测试 | 第53页 |
| 6.4 实验结果与讨论 | 第53-56页 |
| 第七章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 7.1 全文总结 | 第56-57页 |
| 7.2 后续工作展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-66页 |
| 攻读硕士期间取得的成果 | 第66页 |