栅结构微机械陀螺高稳定性信号处理架构和系统降功耗研究
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第12-32页 |
| 1.1 微机械陀螺概述 | 第12页 |
| 1.2 微机械陀螺的应用 | 第12-13页 |
| 1.3 微机械陀螺国内外研究现状 | 第13-23页 |
| 1.3.1 MEMS陀螺高精度和高稳定性研究综述 | 第13-20页 |
| 1.3.2 MEMS陀螺工程化研究综述 | 第20-23页 |
| 1.4 微机械陀螺在浙大 | 第23-29页 |
| 1.4.1 器件结构 | 第23-25页 |
| 1.4.2 硬件电路 | 第25-27页 |
| 1.4.3 算法研究 | 第27-29页 |
| 1.5 论文研究内容 | 第29-32页 |
| 2 微机械陀螺基本理论 | 第32-42页 |
| 2.1 科氏效应 | 第32-33页 |
| 2.2 模态响应 | 第33-35页 |
| 2.3 驱动与检测技术 | 第35-37页 |
| 2.4 性能指标 | 第37-39页 |
| 2.5 正交误差和科氏零偏 | 第39-40页 |
| 2.6 小结 | 第40-42页 |
| 3 微机械陀螺高稳定性控制方案的研究 | 第42-60页 |
| 3.1 介绍 | 第42页 |
| 3.2 两种信号处理架构 | 第42-47页 |
| 3.2.1 基于DSB解调算法的信号处理架构 | 第42-45页 |
| 3.2.2 基于SSB解调算法的信号处理架构 | 第45-47页 |
| 3.3 算法仿真 | 第47-50页 |
| 3.4 高稳定性的D&S控制方案 | 第50页 |
| 3.5 实验结果 | 第50-58页 |
| 3.5.1 鲁棒性测试 | 第50-54页 |
| 3.5.2 稳定性测试 | 第54-58页 |
| 3.6 小结 | 第58-60页 |
| 4 微机械陀螺系统降功耗研究 | 第60-76页 |
| 4.1 介绍 | 第60页 |
| 4.2 电容检测方案 | 第60-64页 |
| 4.2.1 电荷放大型位移检测电路 | 第60-62页 |
| 4.2.2 环形二极管电容检测电路 | 第62-64页 |
| 4.3 接口电路设计 | 第64-67页 |
| 4.3.1 数值仿真 | 第64-65页 |
| 4.3.2 电路方案 | 第65-67页 |
| 4.4 平衡力产生电路设计 | 第67-70页 |
| 4.5 实验结果 | 第70-74页 |
| 4.6 小结 | 第74-76页 |
| 5 总结与展望 | 第76-80页 |
| 5.1 总结 | 第76-77页 |
| 5.2 展望 | 第77-80页 |
| 参考文献 | 第80-86页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第86页 |
