| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 高温Sm_2Co_(17)磁体的发展 | 第11-14页 |
| 1.1.1 Sm_2Co_(17)磁体成分优化的研究 | 第12-13页 |
| 1.1.2 Sm_2Co_(17)磁体掺杂合金的研究 | 第13-14页 |
| 1.2 Sm_2Co_(17)磁体高温老化的研究 | 第14-18页 |
| 1.3 Sm_2Co_(17)磁体的防护技术 | 第18-24页 |
| 1.3.1 Sm_2Co_(17)防护技术的进展 | 第18-20页 |
| 1.3.2 Sm_2Co_(17)磁体防护薄膜的选择与制备方法 | 第20-24页 |
| 1.4 本文的研究意义和内容 | 第24-25页 |
| 1.4.1 本文的研究意义 | 第24页 |
| 1.4.2 本文的研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 实验方法与材料 | 第25-35页 |
| 2.1 整体实验思路 | 第25-26页 |
| 2.2 实验材料 | 第26页 |
| 2.3 实验设备 | 第26-29页 |
| 2.3.1 磁控溅射系统 | 第26-28页 |
| 2.3.2 热处理设备 | 第28-29页 |
| 2.4 薄膜制备 | 第29-30页 |
| 2.4.1 前处理工艺 | 第29页 |
| 2.4.2 NiCrAlY薄膜的制备流程 | 第29页 |
| 2.4.3 非晶Al_2O_3薄膜的制备流程 | 第29-30页 |
| 2.5 高温氧化实验 | 第30-31页 |
| 2.5.1 前期准备 | 第30页 |
| 2.5.2 高温氧化过程 | 第30-31页 |
| 2.6 分析测试方法 | 第31-35页 |
| 2.6.1 表面轮廓仪测量膜厚 | 第31-32页 |
| 2.6.2 扫描电子显微镜(SEM)表征 | 第32页 |
| 2.6.3 X射线衍射(XRD)表征 | 第32-33页 |
| 2.6.4 高温氧化称重 | 第33页 |
| 2.6.5 磁性能测试 | 第33-34页 |
| 2.6.6 XPS分析 | 第34-35页 |
| 第三章 Sm_2Co_(17)磁体的高温老化行为 | 第35-57页 |
| 3.1 Sm_2Co_(17)磁体在不同温度空气中的老化现象 | 第35-42页 |
| 3.1.1 Sm_2Co_(17)磁体老化层厚度与温度和时间的关系 | 第35-37页 |
| 3.1.2 Sm_2Co_(17)磁体老化增重与温度和时间的关系 | 第37-38页 |
| 3.1.3 Sm_2Co_(17)磁体磁性能与老化温度的关系 | 第38-39页 |
| 3.1.4 Sm_2Co_(17)磁体磁性能与老化时间的关系 | 第39-41页 |
| 3.1.5 去除老化层Sm_2Co_(17)磁体的磁性能 | 第41-42页 |
| 3.2 有氧条件下不同温度的老化层结构 | 第42-51页 |
| 3.2.1 500℃下老化层的结构 | 第43-45页 |
| 3.2.2 600℃下老化层的结构 | 第45-48页 |
| 3.2.3 700℃下老化层的结构 | 第48-51页 |
| 3.3 无氧条件下500℃的老化层结构 | 第51-56页 |
| 3.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 NiCrAlY薄膜的制备及对Sm_2Co_(17)防护性能研究 | 第57-77页 |
| 4.1 NiCrAlY薄膜的沉积工艺 | 第57-61页 |
| 4.2 Sm_2Co_(17)磁体表面沉积NiCrAlY薄膜 | 第61-62页 |
| 4.3 溅射NiCrAlY薄膜的组织结构 | 第62-63页 |
| 4.4 不同温度下NiCrAlY薄膜对Sm_2Co_(17)磁体的防护性能 | 第63-71页 |
| 4.4.1 NiCrAlY薄膜对Sm_2Co_(17)磁体氧化增重的影响 | 第63-64页 |
| 4.4.2 NiCrAlY薄膜对Sm_2Co_(17)磁体磁性能的影响 | 第64-66页 |
| 4.4.3 NiCrAlY薄膜对Sm_2Co_(17)磁体老化层结构的影响 | 第66-71页 |
| 4.5 500 ℃下NiCrAlY薄膜对Sm_2Co_(17)磁体长期热稳定性的影响 | 第71-76页 |
| 4.6 本章小结 | 第76-77页 |
| 第五章 NiCrAlY/Al_2O_3复合薄膜的制备及对Sm_2Co_(17)防护性能研究 | 第77-87页 |
| 5.1 非晶Al_2O_3的制备 | 第77-80页 |
| 5.2 NiCrAlY/Al_2O_3复合薄膜的形貌 | 第80-81页 |
| 5.3 NiCrAlY/Al_2O_3复合薄膜的防护性能 | 第81-85页 |
| 5.4 本章小结 | 第85-87页 |
| 第六章 结论 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-96页 |
| 附录 | 第96页 |
