| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 符号说明 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-33页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 氧化锌的结构、性质及应用 | 第13-17页 |
| 1.2.1 氧化锌的基本结构 | 第13-15页 |
| 1.2.2 氧化锌的基本性质 | 第15页 |
| 1.2.3 氧化锌的生长习性 | 第15-16页 |
| 1.2.4 氧化锌的应用 | 第16-17页 |
| 1.3 气体传感器简介 | 第17-32页 |
| 1.3.1 气体传感器的发展现状 | 第17-18页 |
| 1.3.2 工作原理和主要特性 | 第18-22页 |
| 1.3.3 常见气体传感器的工作原理和主要特性 | 第22-28页 |
| 1.3.4 ZnO 气体传感器 | 第28-30页 |
| 1.3.5 不足之处与发展前景 | 第30-32页 |
| 1.4 本文的研究内容 | 第32-33页 |
| 第二章 实验方法 | 第33-43页 |
| 2.1 磁控溅射的镀膜机理 | 第33-35页 |
| 2.2 一维纳米 ZnO 材料的制备工艺 | 第35-38页 |
| 2.3 性能表征方法 | 第38-41页 |
| 2.3.1 膜厚测量 | 第38-39页 |
| 2.3.2 X 射线衍射物相分析（XRD） | 第39页 |
| 2.3.3 场发射扫描电子显微镜（FE-SEM） | 第39-40页 |
| 2.3.4 透射电子显微镜（TEM） | 第40-41页 |
| 2.3.5 拉曼光谱（Raman spectra） | 第41页 |
| 2.4 气敏测试方法 | 第41-42页 |
| 2.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 花状 ZnO 纳米管团簇的制备与表征 | 第43-53页 |
| 3.1 引言 | 第43-46页 |
| 3.1.1 纳米材料的制备方法 | 第43-44页 |
| 3.1.2 纳米材料的应用 | 第44-46页 |
| 3.2 磁控溅射法制备 ZnO 纳米薄膜 | 第46-48页 |
| 3.2.1 实验材料的选择 | 第46-47页 |
| 3.2.2 ZnO 薄膜的制备流程 | 第47页 |
| 3.2.3 ZnO 种子层的制备工艺参数 | 第47-48页 |
| 3.3 水热法合成花状 ZnO 纳米管 | 第48页 |
| 3.3.1 实验原材料和仪器的选择 | 第48页 |
| 3.3.2 实验工艺流程 | 第48页 |
| 3.4 ZnO 纳米薄膜和 ZnO 纳米管的微观组织表征 | 第48-52页 |
| 3.4.1 XRD 分析 | 第48-49页 |
| 3.4.2 SEM 分析 | 第49-50页 |
| 3.4.3 TEM 分析 | 第50-51页 |
| 3.4.4 Raman 分析 | 第51页 |
| 3.4.5 ZnO 纳米管团簇的生长机理 | 第51-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 ZnO 基气敏传感器的性能研究 | 第53-68页 |
| 4.1 纯 ZnO 纳米管的气敏性能 | 第53-57页 |
| 4.1.1 ZnO 纳米管团簇传感器的气敏响应机理 | 第53页 |
| 4.1.2 ZnO 纳米管团簇的气敏特性 | 第53-57页 |
| 4.2 ZnO 纳米管掺 Pt 后的气敏性能 | 第57-62页 |
| 4.2.1 ZnO 纳米管掺贵金属 Pt 的 EDS 分析 | 第57-58页 |
| 4.2.2 ZnO 纳米管掺贵金属 Pt 的 XRD 分析 | 第58页 |
| 4.2.3 ZnO 纳米管掺贵金属 Pt 的 Raman 分析 | 第58-59页 |
| 4.2.4 ZnO 纳米管修饰贵金属 Pt 的气敏特性 | 第59-62页 |
| 4.3 ZnO 纳米管修饰金属氧化物 SnO_2的气敏性能 | 第62-67页 |
| 4.3.1 ZnO 纳米管修饰金属氧化物 SnO_2的 EDS 分析 | 第62-63页 |
| 4.3.2 ZnO 纳米管修饰金属氧化物 SnO_2的 XRD 分析 | 第63页 |
| 4.3.3 ZnO 纳米管修饰金属氧化物 SnO_2的 Raman 分析 | 第63-64页 |
| 4.3.4 ZnO 纳米管修饰金属氧化物 SnO_2的气敏特性 | 第64-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 附录 1 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及申请的专利 | 第78-79页 |
| 附件 | 第79页 |
