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高功率脉冲磁控溅射法制备Al-Mg-Ti-B涂层及摩擦磨损性能研究

摘要第11-13页
ABSTRACT第13-14页
第一章 绪论第15-27页
    1.1 课题背景及意义第15-16页
    1.2 Al-Mg-B材料简介第16-18页
        1.2.1 Al-Mg-B的结构第16-17页
        1.2.2 Al-Mg-B的力学性能第17-18页
        1.2.3 Al-Mg-B的其它性能第18页
    1.3 Al-Mg-Ti-B涂层制备技术第18-20页
    1.4 磁控溅射第20-24页
        1.4.1 直流磁控溅射第21页
        1.4.2 高功率脉冲磁控溅射第21-24页
    1.5 Al-Mg-Ti-B涂层的摩擦磨损研究概述第24-26页
    1.6 主要研究内容及研究目标第26-27页
第二章 涂层的制备与结构性能表征第27-35页
    2.1 涂层的制备第27-30页
        2.1.1 实验设备第27-28页
        2.1.2 实验材料第28-29页
        2.1.3 涂层的制备过程第29-30页
    2.2 涂层的表征第30-35页
        2.2.1 涂层微观结构表征第31-32页
        2.2.2 涂层化学成分分析第32-33页
        2.2.3 涂层性能测试第33-35页
第三章 HiPIMS制备Al-Mg-Ti-B涂层及其力学性能研究第35-57页
    3.1 引言第35-36页
    3.2 预实验第36-42页
        3.2.1 MPP电源与铝镁钛硼靶材的匹配性第36-40页
        3.2.2 HiPIMS电源与铝镁钛硼靶材的匹配性第40-42页
    3.3 涂层的制备第42-44页
    3.4 涂层的表征第44-55页
        3.4.1 涂层的微观结构第44-45页
        3.4.2 涂层的断面形貌第45-47页
        3.4.3 涂层的成分分析第47-51页
        3.4.4 涂层的力学性能第51-55页
    3.5 本章小结第55-57页
第四章 不同偏压Al-Mg-Ti-B涂层的摩擦磨损性能研究第57-79页
    4.1 引言第57-58页
    4.2 涂层的制备第58页
    4.3 膜基结合力第58-61页
    4.4 干摩擦磨损性能第61-63页
    4.5 MoDTC润滑不同偏压Al-Mg-Ti-B涂层的摩擦磨损性能第63-77页
        4.5.1 摩擦实验条件第63-66页
        4.5.2 摩擦系数曲线第66-67页
        4.5.3 涂层磨痕形貌及成分分析第67-73页
        4.5.4 摩擦副球的磨斑形貌及成分分析第73-75页
        4.5.5 MoDTC润滑不同偏压Al-Mg-Ti-B涂层的机理第75-76页
        4.5.6 HPIMS和DCMS沉积Al-Mg-Ti-B涂层的耐磨性比较第76-77页
    4.6 本章小结第77-79页
第五章 不同温度退火Al-Mg-Ti-B涂层的摩擦磨损性能研究第79-97页
    5.1 引言第79-80页
    5.2 涂层的制备第80-81页
    5.3 不同温度退火Al-Mg-Ti-B涂层的表面化学状态第81-82页
    5.4 不同温度退火Al-Mg-Ti-B涂层的摩擦学行为第82-92页
        5.4.1 摩擦实验条件第82-83页
        5.4.2 摩擦系数曲线第83-84页
        5.4.3 涂层磨痕形貌及成分分析第84-90页
        5.4.4 摩擦副球的磨斑形貌及成分分析第90-92页
    5.5 退火温度影响Al-Mg-Ti-B涂层摩擦学行为的机理第92-94页
    5.6 本章小结第94-97页
第六章 结论与展望第97-101页
    6.1 结论第97-98页
    6.2 展望第98-99页
    6.3 创新点第99-101页
参考文献第101-111页
致谢第111-113页
附录 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果第113-114页
学位论文评阅及答辩情况表第114页

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