| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 金刚石的结构与性质 | 第11-12页 |
| 1.2 金刚石膜概述 | 第12-15页 |
| 1.2.1 金刚石膜的性能及应用 | 第12-13页 |
| 1.2.2 金刚石膜制备方法简介 | 第13-14页 |
| 1.2.3 金刚石膜的常用表征方法 | 第14-15页 |
| 1.3 研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3.1 电磁流体的流动传热研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3.2 金刚石膜残余应力的研究现状 | 第17页 |
| 1.3.3 已有研究的不足 | 第17-18页 |
| 1.4 本文的研究意义及内容 | 第18-20页 |
| 第2章 磁控直流等离子体炬的传热与流动的数值模拟 | 第20-29页 |
| 2.1 磁流体动力学模型 | 第22-24页 |
| 2.2 计算区域、边界条件及软件开发 | 第24-26页 |
| 2.3 数值模拟结果及分析 | 第26-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 等离子体炬与炬外沉积腔的数值模拟 | 第29-34页 |
| 3.1 基本假设及控制的方程组 | 第29-30页 |
| 3.2 计算区域、模拟工况及边界条件 | 第30-31页 |
| 3.3 数值模拟结果及分析 | 第31-32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 第4章 金刚石膜残余应力场的仿真计算及开裂破坏研究 | 第34-42页 |
| 4.1 瞬态热—力耦合模型 | 第34-35页 |
| 4.2 计算区域、物性参数与边界条件 | 第35-37页 |
| 4.3 数值模拟结果 | 第37-39页 |
| 4.4 金刚石膜的开裂破坏研究 | 第39-40页 |
| 4.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 第5章 影响金刚石膜开裂的工艺参数及分析研究 | 第42-68页 |
| 5.1 等离子体炬的工艺参数 | 第42-58页 |
| 5.1.1 外磁场对等离子体炬流动与传热特性的影响 | 第42-47页 |
| 5.1.2 入口气流量对等离子炬流动与传热特性的影响 | 第47-49页 |
| 5.1.3 阴极电势对等离子炬流动与传热特性的影响 | 第49-51页 |
| 5.1.4 不同阴极结构的等离子体炬的对比分析 | 第51-54页 |
| 5.1.5 不同阳极结构的等离子体炬的对比分析 | 第54-58页 |
| 5.1.6 温度场方程添加项对等离子炬炬出口温度的影响 | 第58页 |
| 5.2 炬外沉积腔的工艺参数 | 第58-60页 |
| 5.2.1 炬出口到沉积台的距离对金刚石膜表面温度的影响 | 第59页 |
| 5.2.2 钼基体半径对金刚石膜表面温度的影响 | 第59-60页 |
| 5.3 膜/基系统自身的工艺参数 | 第60-64页 |
| 5.3.1 钼基体半径对金刚石膜残余应力的影响 | 第60-61页 |
| 5.3.2 膜/基界面形貌对金刚石膜残余应力的影响 | 第61-64页 |
| 5.4 参数分析与工艺优化 | 第64-66页 |
| 5.5 本章小结 | 第66-68页 |
| 第6章 磁控直流等离子体炬的三维数值模拟 | 第68-73页 |
| 6.1 三维磁流体动力学模型 | 第68-70页 |
| 6.2 计算区域、工况条件及边界条件 | 第70页 |
| 6.3 模拟结果及分析 | 第70-72页 |
| 6.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及参加的科研项目 | 第82页 |
