| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 微机电系统(MEMS)的发展史 | 第11-13页 |
| 1.2 射频微机电系统(RF MEMS)的概况 | 第13-18页 |
| 1.2.1 MEMS 天线 | 第14-16页 |
| 1.2.2 平面馈电网络研究现状 | 第16-18页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 1.3.1 共面波导馈电的平面缝隙天线阵列的整体设计 | 第18-19页 |
| 1.3.2 增益特性、带宽特性的仿真优化 | 第19页 |
| 1.3.3 馈电网络的仿真优化 | 第19页 |
| 1.3.4 适用于毫米波平面天线(阵)的非硅基三维微加工技术研究 | 第19-20页 |
| 1.4 本章小结 | 第20-21页 |
| 第二章 面向毫米波天线的三维非硅微加工工艺的研究 | 第21-30页 |
| 2.1 基于毫米波天线的三维非硅微加工工艺的优化设计 | 第21-23页 |
| 2.1.1 毫米波天线对传统天线加工工艺的挑战 | 第21-22页 |
| 2.1.2 加法工艺 | 第22-23页 |
| 2.1.3 减法工艺 | 第23页 |
| 2.2 通用图形化方法 | 第23-26页 |
| 2.3 工艺组合与流程设计的规则 | 第26-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 带有空气桥结构的共面波导模型分析 | 第30-41页 |
| 3.1 共面波导不连续结构 | 第30页 |
| 3.2 共面波导弯角结构 | 第30-32页 |
| 3.3 空气桥 | 第32-35页 |
| 3.4 共面波导T 型结构 | 第35-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 共面波导馈电的毫米波宽带天线阵列 | 第41-53页 |
| 4.1 宽带毫米波缝隙天线阵列 | 第41-47页 |
| 4.1.1 天线设计 | 第41-42页 |
| 4.1.2 仿真与优化 | 第42-47页 |
| 4.2 样品制作 | 第47-50页 |
| 4.3 测试结果 | 第50-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 基于共面波导馈电网络的平面毫米波单向辐射天线阵 | 第53-67页 |
| 5.1 单向辐射平面缝隙天线阵 | 第53-60页 |
| 5.1.1 天线设计 | 第53-55页 |
| 5.1.2 仿真与优化 | 第55-60页 |
| 5.1.3 小结 | 第60页 |
| 5.2 单向辐射平面宽带缝隙天线阵 | 第60-66页 |
| 5.2.1 天线设计 | 第61-62页 |
| 5.2.2 仿真与优化 | 第62-66页 |
| 5.2.3 小结 | 第66页 |
| 5.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 主要结论 | 第67-68页 |
| 6.2 研究展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第70页 |
| 攻读博士学位期间申请的发明专利 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
