| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-29页 |
| ·太阳能电池发展的历史背景及现状 | 第9-17页 |
| ·太阳能电池发展的背景 | 第9-10页 |
| ·太阳能的分布 | 第10页 |
| ·太阳能的利用 | 第10-11页 |
| ·国内外太阳能电池发展的状况 | 第11-13页 |
| ·太阳能电池的种类 | 第13-17页 |
| ·硅薄膜太阳能电池 P 型窗口层材料研究的背景 | 第17-19页 |
| ·硅薄膜太阳能电池的原理和结构 | 第17-18页 |
| ·p 型窗口层的研究意义 | 第18-19页 |
| ·P 型窗口层材料的种类与制备方法 | 第19-24页 |
| ·P 型窗口层材料的种类 | 第19-22页 |
| ·P 型窗口层的制备方法 | 第22-24页 |
| ·开题思想和本论文的主要工作 | 第24-25页 |
| 参考文献 | 第25-29页 |
| 2 试验方法及过程 | 第29-47页 |
| ·实验装置及原理 | 第29-34页 |
| ·PLD 系统装置 | 第29-30页 |
| ·PLD 的原理 | 第30-34页 |
| ·PLD 法沉积薄膜的特点 | 第34-35页 |
| ·试验参数对薄膜质量的影响 | 第35-37页 |
| ·靶材与衬底的间距 | 第35-36页 |
| ·衬底温度 | 第36页 |
| ·本底真空度及工作气压 | 第36页 |
| ·靶材的致密度 | 第36页 |
| ·脉冲激光能量 | 第36页 |
| ·脉冲激光重复频率 | 第36-37页 |
| ·沉积时间 | 第37页 |
| ·靶材和衬底的转速 | 第37页 |
| ·实验材料准备 | 第37-38页 |
| ·衬底 | 第37-38页 |
| ·靶材 | 第38页 |
| ·实验过程及样品制备 | 第38页 |
| ·样品的性能表征 | 第38-44页 |
| ·X 射线衍射（X-Ray Diffraction，XRD）谱 | 第38-39页 |
| ·拉曼散射光谱 | 第39-41页 |
| ·可见-紫外透射光谱 | 第41页 |
| ·扫描电子显微镜和扫描探针显微镜 | 第41-42页 |
| ·电导率测试 | 第42-43页 |
| ·霍尔效应测试 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-47页 |
| 3 实验结果与分析 | 第47-65页 |
| ·Raman 测试结果及分析 | 第47-49页 |
| ·XRD 谱测试结果与分析 | 第49-51页 |
| ·SEM 和 SPM 测试结果与分析 | 第51-55页 |
| ·电学性能测试结果与分析 | 第55-58页 |
| ·可见-紫外透射光谱测试结果与分析 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 4 结论与展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第69-70页 |