微分干涉自动检测系统工程化样机的研制
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 项目背景 | 第9页 |
| 1.2 研究的背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.3 表面形貌检测概述 | 第10-13页 |
| 1.3.1 接触式测量 | 第10-11页 |
| 1.3.2 非光学式扫描显微镜方法 | 第11页 |
| 1.3.3 非接触式测量方法 | 第11-13页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 微分干涉自动检测系统的原理与构成 | 第15-22页 |
| 2.1 微分干涉自动检测系统的原理 | 第15-20页 |
| 2.1.1 微分剪切干涉技术 | 第15-17页 |
| 2.1.2 偏振移相干涉技术 | 第17-20页 |
| 2.2 微分干涉自动检测系统的设计 | 第20-21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 硬件系统的改进与实验 | 第22-35页 |
| 3.1 硬件系统构成 | 第22-23页 |
| 3.2 照明系统的改进与对比实验 | 第23-27页 |
| 3.3 图像采集单元的改进与对比实验 | 第27-31页 |
| 3.4 双远心镜头的设计 | 第31-32页 |
| 3.5 自动化控制系统的设计与改进 | 第32-34页 |
| 3.6 本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 软件系统的改进与实验 | 第35-53页 |
| 4.1 软件系统重构的意义 | 第35页 |
| 4.2 软件系统重构的过程 | 第35-37页 |
| 4.2.1 需求分析 | 第35-36页 |
| 4.2.2 软件开发平台QT | 第36-37页 |
| 4.3 算法的重构实现 | 第37-43页 |
| 4.3.1 相位提取算法 | 第37-40页 |
| 4.3.2 表面重构算法 | 第40-43页 |
| 4.4 软件系统新功能的实现 | 第43-49页 |
| 4.4.1 自动采集功能的实现 | 第43-44页 |
| 4.4.2 多点形貌拼接功能的实现与误差分析 | 第44-47页 |
| 4.4.3 多点形貌拼接实验 | 第47-49页 |
| 4.5 全部功能描述与GUI设计 | 第49-52页 |
| 4.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 工程化样机的实验与研制 | 第53-66页 |
| 5.1 同轴系统设计 | 第53页 |
| 5.2 光学器件的实验标定 | 第53-57页 |
| 5.2.1 系统中光轴间的夹角 | 第53-54页 |
| 5.2.2 偏振片起偏方向的标定 | 第54-55页 |
| 5.2.3 单轴平晶剪切方向的标定 | 第55-56页 |
| 5.2.4 波片光轴的标定 | 第56-57页 |
| 5.3 同轴系统的准确性验证实验 | 第57-62页 |
| 5.4 研制同轴系统的工程化样机 | 第62-65页 |
| 5.4.1 三维建模与Solidworks | 第62-63页 |
| 5.4.2 设计图与样机 | 第63-64页 |
| 5.4.3 分辨率与误差分析 | 第64-65页 |
| 5.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及其它成果 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
