基于偏振光的集成迈克尔逊干涉仪关键技术研究
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第1章 绪论 | 第14-20页 |
| 1.1 国内外研究现状 | 第14-18页 |
| 1.1.1 单频干涉技术 | 第15-17页 |
| 1.1.2 频干涉技术 | 第17-18页 |
| 1.2 本文研究的主要内容 | 第18-20页 |
| 第2章 干涉仪系统设计 | 第20-31页 |
| 2.1 单频激光干涉仪原理 | 第20-26页 |
| 2.1.1 光路结构设计 | 第20-21页 |
| 2.1.2 偏振光路分析 | 第21-26页 |
| 2.2 系统光路光学元器件的选取 | 第26-30页 |
| 2.2.1 光源的选取 | 第26-27页 |
| 2.2.2 光学元器件的选取 | 第27-28页 |
| 2.2.3 光学元件调整架的选择 | 第28-29页 |
| 2.2.4 光路的调试 | 第29-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 信号检测系统设计 | 第31-43页 |
| 3.1 光电检测电路设计 | 第31-35页 |
| 3.1.1 光电探测器件的选择 | 第31-33页 |
| 3.1.2 光电检测电路 | 第33-35页 |
| 3.2 交信号调解及误差分析 | 第35-38页 |
| 3.2.1 干涉信号误差来源 | 第35-36页 |
| 3.2.2 Heydeman修正方法 | 第36-38页 |
| 3.3 基于LabVIEW解调软件设计 | 第38-42页 |
| 3.3.1 LabVIEW软件简介 | 第39-40页 |
| 3.3.2 系统软件设计 | 第40-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 系统测试与分析 | 第43-48页 |
| 4.1 系统测试 | 第43-44页 |
| 4.2 系统误差分析 | 第44-47页 |
| 4.2.1 光路结构误差 | 第44-45页 |
| 4.2.2 电路误差 | 第45页 |
| 4.2.3 环境误差 | 第45-47页 |
| 4.3 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 总结与展望 | 第48-50页 |
| 5.1 总结 | 第48页 |
| 5.2 展望 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第53页 |
