| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 致谢 | 第9-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-25页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·表面工程技术的分类 | 第15页 |
| ·纳米复合涂层概述 | 第15-16页 |
| ·纳米复合涂层的分类 | 第16-17页 |
| ·按晶粒尺寸和相邻晶粒间距大小分类 | 第16-17页 |
| ·按硬度进行分类 | 第17页 |
| ·按物相组成分类 | 第17页 |
| ·纳米复合涂层的制备工艺 | 第17-21页 |
| ·化学气相沉积(CVD) | 第17-18页 |
| ·物理气相沉积(PVD) | 第18-21页 |
| ·纳米复合涂层在实际中的应用 | 第21-23页 |
| ·纳米复合涂层在刀具上的应用 | 第21页 |
| ·纳米复合涂层在耐冲蚀领域的应用 | 第21-22页 |
| ·纳米复合涂层在耐腐蚀领域的应用 | 第22页 |
| ·纳米复合涂层在模具上的应用 | 第22-23页 |
| ·TiSiCN 纳米复合涂层 | 第23页 |
| ·本论文的研究内容和意义 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第二章 等离子增强磁控溅射沉积技术 | 第25-30页 |
| ·PEMS 技术的原理 | 第25-26页 |
| ·PEMS 技术与传统磁控溅射技术的比较 | 第26-28页 |
| ·传统磁控溅射技术(CMS) | 第26页 |
| ·PEMS 技术 | 第26-27页 |
| ·CMS 和 PEMS 实验结果比较 | 第27-28页 |
| ·PEMS 镀膜前的离子清洗 | 第28-29页 |
| ·真空室及工件的烘烤除气 | 第28页 |
| ·离子清洗 | 第28-29页 |
| ·PEMS 镀膜 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 Ti 基、Ti-Me 基纳米复合涂层的制备和性能 | 第30-40页 |
| ·试样镀膜前的准备 | 第30页 |
| ·离子清洗和镀膜参数的设计 | 第30-32页 |
| ·镀膜过程中 Si 的获取 | 第32-33页 |
| ·纳米薄膜的表征技术 | 第33-36页 |
| ·扫描电子显微技术(SEM) | 第33页 |
| ·表面轮廓分析(Stylus Profilemeter) | 第33-34页 |
| ·X 射线衍射(XRD) | 第34页 |
| ·原子力显微分析(AFM) | 第34-35页 |
| ·表面能(Surface Energy) | 第35页 |
| ·硬度(Hardness) | 第35-36页 |
| ·摩擦磨损性能测试 | 第36-37页 |
| ·固体颗粒物对工件的冲蚀(Solid Particle Erosion) | 第36-37页 |
| ·摩擦磨损试验 | 第37页 |
| ·电化学性能 | 第37-38页 |
| ·高温性能 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 Ti 基、Ti-Me 基纳米复合涂层的组织和物理性能 | 第40-60页 |
| ·纳米复合涂层的组织结构 | 第40-41页 |
| ·AFM 结果分析 | 第41-43页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第43-45页 |
| ·成分分析结果 | 第45-46页 |
| ·涂层和基体之间的结合力 | 第46-48页 |
| ·显微硬度 | 第48-49页 |
| ·纳米压痕测试 | 第49页 |
| ·表面能测试结果分析 | 第49-51页 |
| ·摩擦磨损试验结果 | 第51-55页 |
| ·滑动摩擦磨损性能测试结果 | 第51-54页 |
| ·冲蚀磨损试验结果 | 第54-55页 |
| ·耐高温氧化性能测试 | 第55-58页 |
| ·试验方法和耐高温氧化性能表征 | 第55-56页 |
| ·耐高温氧化性能测试结果与分析 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 Ti 基、Ti-Me 基纳米复合涂层的电化学性能 | 第60-71页 |
| ·试验方法 | 第60-62页 |
| ·开路电位 OCP 的测试结果 | 第62-63页 |
| ·线性极化 LPR 的测试结果 | 第63-65页 |
| ·交流阻抗谱 EIS 测试结果 | 第65-68页 |
| ·动电位极化扫描(PDS)测试结果 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 全文总结 | 第71-73页 |
| ·总结 | 第71-72页 |
| ·本文创新之处与工作展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第82-83页 |
