| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 电介质材料 | 第10-12页 |
| 1.3 电介质材料的性能表征 | 第12-16页 |
| 1.3.1 介电常数 | 第12页 |
| 1.3.2 电容 | 第12-13页 |
| 1.3.3 介电损耗 | 第13页 |
| 1.3.4 挠曲电效应 | 第13-16页 |
| 1.4 钛酸锶钡薄膜概述 | 第16-19页 |
| 1.4.1 钛酸锶钡的结构和性能 | 第16-17页 |
| 1.4.2 钛酸锶钡薄膜的研究现状 | 第17-19页 |
| 1.5 BST薄膜的应用 | 第19-21页 |
| 1.6 BST薄膜的制备技术 | 第21-22页 |
| 1.6.1 物理气相沉积法（PVD） | 第21页 |
| 1.6.2 化学气相沉积法（CVD） | 第21页 |
| 1.6.3 激光脉冲沉积法（PLD） | 第21-22页 |
| 1.6.4 溶胶-凝胶法（Sol-Gel） | 第22页 |
| 1.7 本课题的提出和研究内容 | 第22-24页 |
| 1.7.1 课题的研究目的和意义 | 第22页 |
| 1.7.2 课题主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 BST薄膜的制备工艺及性能表征 | 第24-34页 |
| 2.1 实验原料 | 第24-25页 |
| 2.2 实验中所用主要实验设备及仪器 | 第25页 |
| 2.3 样品制备过程 | 第25-31页 |
| 2.3.1 BST、ZrO_2、MgO溶胶的制备 | 第25-28页 |
| 2.3.1.1 BST溶胶的制备 | 第25-26页 |
| 2.3.1.2 ZrO_2溶胶的制备 | 第26-27页 |
| 2.3.1.3 MgO溶胶的制备 | 第27-28页 |
| 2.3.2 BST薄膜的制备 | 第28-30页 |
| 2.3.3 BST/ZrO_2和BST/MgO复合薄膜的制备 | 第30-31页 |
| 2.4 样品测试 | 第31-33页 |
| 2.4.1 干凝胶的差热分析 | 第31-32页 |
| 2.4.2 薄膜物相表征 | 第32页 |
| 2.4.3 薄膜的微观结构表征 | 第32页 |
| 2.4.4 电学性能测试 | 第32-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 BST薄膜的介电性能研究 | 第34-46页 |
| 3.1 样品制备 | 第34页 |
| 3.2 BST干凝胶TG-DSC分析 | 第34-35页 |
| 3.3 XRD分析 | 第35-38页 |
| 3.4 SEM分析 | 第38-42页 |
| 3.5 介电性能分析 | 第42-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 复合薄膜介电性能的研究 | 第46-56页 |
| 4.1 样品制备 | 第46页 |
| 4.1.1 BST/ZrO_2复合薄膜的制备 | 第46页 |
| 4.1.2 BST/MgO复合薄膜的制备 | 第46页 |
| 4.2 干凝胶的TG-DSC分析 | 第46-48页 |
| 4.3 XRD分析 | 第48-49页 |
| 4.4 SEM分析 | 第49-52页 |
| 4.5 介电性能分析 | 第52-55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 不同电极层对复合薄膜介电性能影响的研究 | 第56-63页 |
| 5.1 样品制备 | 第56页 |
| 5.2 干凝胶TG-DSC分析 | 第56-57页 |
| 5.3 XRD分析 | 第57-58页 |
| 5.4 SEM分析 | 第58-60页 |
| 5.5 方块电阻分析 | 第60页 |
| 5.6 介电性能分析 | 第60-62页 |
| 5.7 本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 薄膜的挠曲电性能研究 | 第63-70页 |
| 6.1 样品制备 | 第63-64页 |
| 6.2 不同的基底的尺寸对横向挠曲电系数的影响 | 第64页 |
| 6.3 驱动频率对横向挠曲电系数的影响 | 第64-65页 |
| 6.4 Y~(3+)掺杂量对单层BST薄膜等效压电常数的影响 | 第65-66页 |
| 6.5 烧结温度对不同薄膜等效压电常数的影响 | 第66-68页 |
| 6.6 内电极对复合薄膜等效压电常数的影响 | 第68-69页 |
| 6.7 本章小结 | 第69-70页 |
| 第七章 结论与展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 攻读硕士期间发表的主要论文 | 第77页 |