多晶硅结晶炉研制及凝固工艺
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 重要说明 | 第10-11页 |
| 1.绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 光伏产业及硅元素简介 | 第11-13页 |
| 1.1.1 光伏产业简介 | 第11-12页 |
| 1.1.2 硅的半导体性质 | 第12-13页 |
| 1.2 非晶硅介绍 | 第13-14页 |
| 1.2.1 非晶硅性质 | 第13页 |
| 1.2.2 非晶硅应用 | 第13-14页 |
| 1.2.3 非晶硅生产工艺 | 第14页 |
| 1.3 单晶硅介绍 | 第14-16页 |
| 1.3.1 单晶硅性质 | 第14页 |
| 1.3.2 单晶硅应用 | 第14-15页 |
| 1.3.3 单晶硅生产工艺 | 第15-16页 |
| 1.4 多晶硅介绍 | 第16-19页 |
| 1.4.1 多晶硅性质 | 第16页 |
| 1.4.2 多晶硅应用 | 第16页 |
| 1.4.3 多晶硅产生工艺 | 第16-19页 |
| 1.5 本课题的来源、研究目的和研究内容 | 第19-20页 |
| 1.5.1 本课题的研究目的 | 第19页 |
| 1.5.2 课题的研究内容 | 第19-20页 |
| 2 火焰加热实验炉设计 | 第20-34页 |
| 2.1 设计思路 | 第20-22页 |
| 2.2 设计方案 | 第22-27页 |
| 2.2.1 温场系统设计 | 第22-25页 |
| 2.2.2 定向凝固控制系统及炉体设计 | 第25-27页 |
| 2.3 制造与安装 | 第27-32页 |
| 2.3.1 各零件制造 | 第27-31页 |
| 2.3.2 总装 | 第31-32页 |
| 2.4 火焰加热炉调试 | 第32页 |
| 2.5 小结 | 第32-34页 |
| 3 感应实验炉设计 | 第34-59页 |
| 3.1 设计思路 | 第34页 |
| 3.2 设计方案 | 第34-53页 |
| 3.2.2 定向凝固控制系统及炉体设计 | 第40-53页 |
| 3.2.2.1 机械部分设计 | 第40-53页 |
| 3.3 制作与安装 | 第53-54页 |
| 3.3.1 制作 | 第53页 |
| 3.3.2 安装 | 第53-54页 |
| 3.4 调试与熔炼实验 | 第54-57页 |
| 3.4.1 调试 | 第54页 |
| 3.4.2 熔炼实验 | 第54-55页 |
| 3.4.3 样品金相分析 | 第55-57页 |
| 3.5 小结 | 第57-59页 |
| 4 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
