| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-26页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·纳米多层膜 | 第14-19页 |
| ·纳米多层膜的概念 | 第14-15页 |
| ·纳米多层膜的研究现状 | 第15页 |
| ·纳米多层膜的分类 | 第15-17页 |
| ·纳米多层膜的硬度增强机理研究 | 第17-19页 |
| ·纳米复合膜 | 第19-22页 |
| ·纳米复合膜的分类 | 第19-20页 |
| ·纳米复合膜的微结构 | 第20-21页 |
| ·纳米复合膜的致硬机理 | 第21-22页 |
| ·纳米复合膜的发展趋势 | 第22页 |
| ·摩擦磨损的研究概况 | 第22-24页 |
| ·摩擦分类 | 第23页 |
| ·磨损分类 | 第23页 |
| ·摩擦磨损过程 | 第23-24页 |
| ·选题意义与研究内容 | 第24-26页 |
| ·选题意义 | 第24-25页 |
| ·研究内容 | 第25-26页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第26-32页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·磁控溅射镀膜原理与实验设备 | 第26-28页 |
| ·磁控溅射镀膜原理 | 第26-27页 |
| ·实验设备 | 第27-28页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第28-32页 |
| ·X 射线衍射仪(XRD) | 第28-29页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第29页 |
| ·能量色散谱仪(EDS) | 第29-30页 |
| ·MM-6显微硬度测试仪 | 第30页 |
| ·摩擦磨损试验机 | 第30-31页 |
| ·薄膜厚度测量 | 第31-32页 |
| 第3章 Al-Si-N复合膜的制备与性能研究 | 第32-46页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·实验方法 | 第32-33页 |
| ·实验结果与讨论 | 第33-44页 |
| ·Si 靶功率与Al-Si-N薄膜中Si含量的关系 | 第33-34页 |
| ·Si 含量对Al-Si-N复合膜微结构的影响 | 第34-35页 |
| ·Si 含量对Al-Si-N复合膜力学性能的影响 | 第35-37页 |
| ·Al-Si-N复合膜的抗氧化性能 | 第37-39页 |
| ·Al-Si-N复合膜的摩擦磨损性能 | 第39-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第4章 ZrN/Al-Si-N纳米多层膜的制备与性能研究 | 第46-60页 |
| ·引言 | 第46-47页 |
| ·实验方法 | 第47-49页 |
| ·ZrN 和Al-Si-N沉积速率的测定 | 第47-48页 |
| ·ZrN/Al-Si-N多层膜的制备 | 第48-49页 |
| ·实验结果与讨论 | 第49-59页 |
| ·单层ZrN、Al-Si-N薄膜的微结构 | 第49-50页 |
| ·调制比对ZrN/Al-Si-N多层膜的微结构及性能的影响 | 第50-54页 |
| ·调制周期对ZrN/Al-Si-N多层膜的微结构及性能的影响 | 第54-57页 |
| ·ZrN/Al-Si-N纳米多层膜致硬机理的讨论 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 Al-Si-C-N复合膜的制备与性能研究 | 第60-68页 |
| ·引言 | 第60-61页 |
| ·实验方法 | 第61页 |
| ·Al-Si-C-N纳米复合膜的制备 | 第61页 |
| ·Al-Si-C-N纳米复合膜的表征 | 第61页 |
| ·实验结果与讨论 | 第61-67页 |
| ·Al-Si-C-N复合膜的微结构分析 | 第61-64页 |
| ·Al-Si-C-N复合膜的力学性能 | 第64-65页 |
| ·Al-Si-C-N复合膜的摩擦学性能 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
