| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 课题来源以及研究目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-23页 |
| 1.2.1 树脂先驱体的合成 | 第11-15页 |
| 1.2.2 材料成型工艺 | 第15-17页 |
| 1.2.3 PDCs-SiCN基体组织结构与性能间关系 | 第17-21页 |
| 1.2.4 PDCs-SiCN基材料在MEMS传感器方面应用 | 第21-22页 |
| 1.2.5 国内外研究现状综合评述 | 第22-23页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第23-24页 |
| 第2章 实验材料与实验方法 | 第24-29页 |
| 2.1 实验原料与试剂 | 第24页 |
| 2.2 SiAlCN先驱体与块体材料的制备 | 第24-25页 |
| 2.2.1 SiAlCN先驱体的制备 | 第24页 |
| 2.2.2 先驱体的交联固化与块体材料的制备 | 第24-25页 |
| 2.3 陶瓷化产物的高温物相转变研究 | 第25-26页 |
| 2.4 SiAlCN陶瓷的导电和介电性能研究 | 第26页 |
| 2.5 分析测试方法 | 第26-29页 |
| 2.5.1 组成与结构分析 | 第26-27页 |
| 2.5.2 理化性能分析 | 第27页 |
| 2.5.3 形貌分析 | 第27页 |
| 2.5.4 电性能测试 | 第27-29页 |
| 第3章 先驱体与块体材料的制备与表征 | 第29-48页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 SiAlCN先驱体的合成与表征 | 第29-38页 |
| 3.2.1 SiAlCN有机先驱体的合成 | 第29-31页 |
| 3.2.2 先驱体的交联固化与裂解 | 第31-38页 |
| 3.3 块体材料的制备 | 第38-41页 |
| 3.4 陶瓷化产物的高温物相转变 | 第41-46页 |
| 3.4.1 微观组织成分随温度变化 | 第41-43页 |
| 3.4.2 铝含量对微观组织成分的影响 | 第43-46页 |
| 3.5 本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 SiAlCN陶瓷的导电和介电性能 | 第48-57页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 SiAlCN陶瓷的导电性能 | 第48-53页 |
| 4.2.1 非晶态试样电导率 | 第49-51页 |
| 4.2.2 结晶态试样电导率 | 第51-53页 |
| 4.3 SiAlCN陶瓷的介电性能 | 第53-55页 |
| 4.3.1 裂解温度对介电性能的影响 | 第53-55页 |
| 4.3.2 铝含量对介电性能的影响 | 第55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 结论 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-65页 |
| 致谢 | 第65页 |