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太阳电池用硅量子点薄膜的制备与性能研究

摘要第3-5页
Abstract第5-7页
第一章 前言第11-33页
    1.1 太阳电池技术发展概述第11-13页
    1.2 叠层太阳电池第13-16页
    1.3 Si-QDs薄膜研究现状第16-31页
        1.3.1 Si-QDs薄膜材料的制备技术第16-23页
        1.3.2 提高Si-QDs薄膜材料性能的方法第23-27页
        1.3.3 基于Si-QDs的光伏器件的研究进展第27-31页
    1.4 本论文的研究内容第31-33页
第二章 试验材料和设备第33-44页
    2.1 样品制备第33页
    2.2 试验材料第33-34页
    2.3 样品制备装置第34-38页
    2.4 样品表征设备第38-44页
第三章 含Si-QDs的梯度富硅Si Nx薄膜第44-53页
    3.1 引言第44页
    3.2 实验方法第44-46页
        3.2.1 衬底清洗第44-45页
        3.2.2 样品制备第45页
        3.2.3 样品测试第45-46页
    3.3 结果与讨论第46-52页
        3.3.1 梯度薄膜和单层薄膜的结构性能比较第46-50页
        3.3.2 梯度薄膜和单层薄膜的发光特性比较第50-51页
        3.3.3 梯度薄膜和单层薄膜的电学性能比较第51-52页
    3.4 本章小结第52-53页
第四章 制备Si-QDs薄膜的退火方法研究第53-69页
    4.1 微波退火制备Si-QDs薄膜第53-60页
        4.1.1 引言第53-54页
        4.1.2 实验方法第54-55页
        4.1.3 结果与讨论第55-59页
        4.1.4 小结第59-60页
    4.2 滤光光热退火制备Si-QDs薄膜第60-69页
        4.2.1 引言第60页
        4.2.2 实验方法第60-62页
        4.2.3 结果与讨论第62-68页
        4.2.4 小结第68-69页
第五章 掺杂对氮化硅基Si-QDs薄膜性能的影响第69-83页
    5.1 引言第69-70页
    5.2 Sb掺杂n型氮化硅基Si-QDs薄膜的制备和特性第70-78页
        5.2.1 实验第70-71页
        5.2.2 结果和讨论第71-77页
        5.2.3 小结第77-78页
    5.3 B掺杂p型氮化硅基Si-QDs薄膜的制备和特性第78-83页
        5.3.1 实验第78-79页
        5.3.2 结果和讨论第79-82页
        5.3.3 小结第82-83页
第六章 Si-QDs/c-Si异质结太阳电池研究第83-104页
    6.1 引言第83页
    6.2 掺锑Si-QDs/c-Si异质结太阳电池第83-94页
        6.2.1 锑掺杂Si-QDs太阳电池原型器件的制备第83-85页
        6.2.2 Sb掺杂量对电池性能影响第85-88页
        6.2.3 器件面积对电池性能影响第88-90页
        6.2.4 对器件Sb/0.85/3.4 的优化第90-94页
    6.3 B掺杂Si-QDs/c-Si异质结太阳电池第94-96页
        6.3.1 实验第94-95页
        6.3.2 结果与讨论第95-96页
    6.4 基于SiNx/Si3N4多层膜的Si-QDs太阳电池第96-102页
        6.4.1 实验第96-97页
        6.4.2 结果与讨论第97-102页
    6.5 本章小结第102-104页
第七章 总结与展望第104-109页
    7.1 结论第104-106页
    7.2 主要创新点第106-107页
    7.3 展望第107-109页
参考文献第109-123页
攻读学位期间发表的学术论文和研究成果第123-125页
    1. 学术论文第123-124页
    2. 发明专利第124页
    3. 研究项目第124页
    4. 获奖第124-125页
致谢第125页

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