| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.2 课题研究的重要意义及国内外研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 微结构的发展 | 第10页 |
| 1.2.2 光栅的发展 | 第10-11页 |
| 1.2.3 光栅参数测量的重要性 | 第11-12页 |
| 1.2.4 光栅参数测量的各种方法 | 第12-16页 |
| 1.3. 本论文主要工作内容 | 第16-17页 |
| 本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 光栅衍射的严格耦合波理论 | 第18-36页 |
| 2.1 前言 | 第18页 |
| 2.2 光栅衍射效率的计算 | 第18-26页 |
| 2.2.1 矩形光栅的衍射效率计算 | 第18-22页 |
| 2.2.2 非矩形槽光栅衍射效率的计算 | 第22-25页 |
| 2.2.3 基于RCWA的光栅衍射效率计算结果的验证 | 第25-26页 |
| 2.3 矩形光栅衍射效率特性分析 | 第26-27页 |
| 2.4 光栅光谱 | 第27-35页 |
| 2.4.1 光栅光谱的概念 | 第27-29页 |
| 2.4.2 基于光栅光谱的光栅槽形参数测量方法研究 | 第29-35页 |
| 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 用透射光谱反演光栅槽形参数的研究 | 第36-48页 |
| 3.1. 前言 | 第36页 |
| 3.2. 优化算法的选择 | 第36-40页 |
| 3.2.1 遗传算法和直接搜索算法 | 第36-38页 |
| 3.2.2 优化算法的反演能力研究 | 第38-40页 |
| 3.3. 评价函数的选择 | 第40-47页 |
| 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 亚波长光栅槽形参数实验研究 | 第48-68页 |
| 4.1. 前言 | 第48页 |
| 4.2. 零级透射光谱测量系统 | 第48-58页 |
| 4.2.1. USB4000便携式光谱仪 | 第48-51页 |
| 4.2.2. 利用USB4000便携式光谱仪测量零级透射光谱 | 第51-54页 |
| 4.2.3. 对零级透射光谱测量系统的改进 | 第54-56页 |
| 4.2.4. 零级透射光谱测量系统的标定 | 第56-58页 |
| 4.3. 镀金光栅掩模槽形参数的测量 | 第58-64页 |
| 4.4. 误差分析 | 第64-66页 |
| 4.5. 实例：梯形石英透射光栅槽形下底占空比的测量 | 第66页 |
| 4.6. 光栅槽形参数反演程序 | 第66-67页 |
| 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 5.1. 论文工作总结 | 第68-69页 |
| 5.2. 展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
