| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 光波导耦合器研究进展 | 第8-12页 |
| 1.1.1 光波导耦合器的技术标准 | 第8页 |
| 1.1.2 光波导耦合器分类 | 第8-10页 |
| 1.1.3 光波导耦合器的调节方法 | 第10-12页 |
| 1.2 光波导偏振分束器研究进展 | 第12-16页 |
| 1.2.1 光波导偏振分束器的技术标准 | 第13页 |
| 1.2.2 光波导偏振分束器材料分类 | 第13-14页 |
| 1.2.3 光波导偏振分束器机理分类 | 第14-16页 |
| 1.3 工艺对SoS光波导无源器件性能的影响 | 第16-17页 |
| 1.3.1 波导与光纤耦合偏移问题 | 第16页 |
| 1.3.2 波导制备工艺带来的偏振问题 | 第16-17页 |
| 1.4 本文主要工作 | 第17-20页 |
| 第二章 入口端偏移激励MMI型光波导耦合器分析 | 第20-40页 |
| 2.1 入口端中心激励多入/出MMI型光波导耦合器分析 | 第20-24页 |
| 2.1.1 自镜像效应 | 第20-21页 |
| 2.1.2 多模区模场分布及传输特性 | 第21-24页 |
| 2.2 入口端偏移激励多入/出MMI型光波导耦合器分析 | 第24-27页 |
| 2.2.1 入口端偏移激励引起的谐振现象 | 第24-25页 |
| 2.2.2 入口端偏移激励自镜像效应 | 第25-26页 |
| 2.2.3 分析与讨论 | 第26-27页 |
| 2.3 入口端偏移激励MMI型光波导耦合器分析 | 第27-38页 |
| 2.3.1 对称1×4 MMI型光波导耦合器波导元部件 | 第27-30页 |
| 2.3.2 对称1×4 MMI型光波导耦合器分析与讨论 | 第30-32页 |
| 2.3.3 非对称1×4 MMI型光波导耦合器分析与讨论 | 第32-34页 |
| 2.3.4 输出端并列耦合1×2 MMI型光波导耦合器优化设计 | 第34-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-40页 |
| 第三章 基于缓冲层隙缝的MMI型光波导偏振分束器分析 | 第40-54页 |
| 3.1 基于缓冲层隙缝的MMI型光波导偏振分束器机理 | 第40-43页 |
| 3.1.1 基于缓冲层隙缝的MMI型光波导偏振分束器结构 | 第40-41页 |
| 3.1.2 模场分布分析 | 第41-43页 |
| 3.2 波导端面结构优化设计 | 第43-49页 |
| 3.2.1 多模区模式分析 | 第43-44页 |
| 3.2.2 多模区宽度 | 第44-45页 |
| 3.2.3 隙缝深度与宽度 | 第45-47页 |
| 3.2.4 隙缝长度 | 第47-49页 |
| 3.3 偏振分束器优化设计 | 第49-52页 |
| 3.3.1 输出位置 | 第49-50页 |
| 3.3.2 多模区长度 | 第50-52页 |
| 3.3.3 偏振分束器分析与讨论 | 第52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 第四章 SoS-MMI型光波导耦合器/偏振分束器的制备、测试和分析 | 第54-66页 |
| 4.1 SoS基光波导制备工艺 | 第54-56页 |
| 4.2 测试系统 | 第56-59页 |
| 4.2.1 测试参数 | 第56页 |
| 4.2.2 测试系统构建 | 第56-58页 |
| 4.2.3 测试流程 | 第58-59页 |
| 4.3 SoS-MMI型光波导耦合器测试结果和分析 | 第59-62页 |
| 4.3.1 1×4 MMI型光波导耦合器测试结果分析 | 第59-61页 |
| 4.3.2 1×2 MMI型光波导耦合器测试结果分析 | 第61-62页 |
| 4.4 SoS-MMI型光波导偏振分束器的测试结果和分析 | 第62-64页 |
| 4.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 作者简介 | 第74页 |
