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CMOS MEMS多层薄膜材料力学特性在线测试方法研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第9-18页
    1.1 MEMS概述第9-10页
    1.2 课题研究背景及意义第10-11页
        1.2.1 CMOS MEMS层叠结构及应用第10-11页
        1.2.2 MEMS多层薄膜力学参数测试第11页
    1.3 薄膜材料力学参数测试相关研究进展第11-17页
        1.3.1 圆片曲率测试法第12页
        1.3.2 被动测量法第12-14页
        1.3.3 静电执行法第14页
        1.3.4 鼓胀法第14-15页
        1.3.5 微拉伸实验法第15页
        1.3.6 接触式弯曲法第15页
        1.3.7 纳米压痕法第15-16页
        1.3.8 谐振频率法第16-17页
    1.4 论文的主要工作第17-18页
第二章 微机械薄膜梁动力学理论第18-47页
    2.1 多层薄膜梁单元划分第18-22页
    2.2 双端固支梁谐振模型第22-28页
        2.2.1 初始平直的双端固支梁谐振模型第23-25页
        2.2.2 初始发生屈曲的双端固支梁谐振模型第25-28页
    2.3 悬臂梁动力学模型第28-32页
        2.3.1 释放后平直的单层悬臂梁谐振模型第28-29页
        2.3.2 多层悬臂梁结构动力学模型第29-32页
    2.4 有限元模拟与验证第32-46页
    2.5 小结第46-47页
第三章 薄膜材料力学参数的在线提取方法第47-64页
    3.1 单层薄膜材料杨氏模量和残余应力的在线提取第47-52页
    3.2 多层薄膜材料杨氏模量和残余应力的在线提取第52-63页
        3.2.1 谐振频率检测法在线提取多层薄膜材料的杨氏模量和残余应力第52-58页
        3.2.2 谐振频率与挠度同时检测法在线提取多层薄膜材料的杨氏模量和残余应力第58-63页
    3.3 小结第63-64页
第四章 CMOS层叠结构多层薄膜材料力学参数在线测试第64-95页
    4.1 多层薄膜材料测试结构加工工艺步骤第64-71页
    4.2 多层薄膜材料测试结构设计第71-74页
        4.2.1 测试结构尺寸的设计第71-73页
        4.2.2 测试结构版图设计第73-74页
    4.3 测试方法原理与步骤第74-82页
        4.3.1 激光多普勒测振仪对谐振频率的检测第74-79页
        4.3.2 数字全息显微镜对挠度的测量第79-82页
    4.4 多层薄膜材料力学参数的提取与误差分析第82-94页
        4.4.1 测试结构的测量及材料力学参数的提取第82-93页
        4.4.2 误差分析第93-94页
    4.5 小结第94-95页
第五章 总结与展望第95-97页
致谢第97-98页
参考文献第98-105页
在学期间发表的论文第105页

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