| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 MEMS概述 | 第9-10页 |
| 1.2 课题研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2.1 CMOS MEMS层叠结构及应用 | 第10-11页 |
| 1.2.2 MEMS多层薄膜力学参数测试 | 第11页 |
| 1.3 薄膜材料力学参数测试相关研究进展 | 第11-17页 |
| 1.3.1 圆片曲率测试法 | 第12页 |
| 1.3.2 被动测量法 | 第12-14页 |
| 1.3.3 静电执行法 | 第14页 |
| 1.3.4 鼓胀法 | 第14-15页 |
| 1.3.5 微拉伸实验法 | 第15页 |
| 1.3.6 接触式弯曲法 | 第15页 |
| 1.3.7 纳米压痕法 | 第15-16页 |
| 1.3.8 谐振频率法 | 第16-17页 |
| 1.4 论文的主要工作 | 第17-18页 |
| 第二章 微机械薄膜梁动力学理论 | 第18-47页 |
| 2.1 多层薄膜梁单元划分 | 第18-22页 |
| 2.2 双端固支梁谐振模型 | 第22-28页 |
| 2.2.1 初始平直的双端固支梁谐振模型 | 第23-25页 |
| 2.2.2 初始发生屈曲的双端固支梁谐振模型 | 第25-28页 |
| 2.3 悬臂梁动力学模型 | 第28-32页 |
| 2.3.1 释放后平直的单层悬臂梁谐振模型 | 第28-29页 |
| 2.3.2 多层悬臂梁结构动力学模型 | 第29-32页 |
| 2.4 有限元模拟与验证 | 第32-46页 |
| 2.5 小结 | 第46-47页 |
| 第三章 薄膜材料力学参数的在线提取方法 | 第47-64页 |
| 3.1 单层薄膜材料杨氏模量和残余应力的在线提取 | 第47-52页 |
| 3.2 多层薄膜材料杨氏模量和残余应力的在线提取 | 第52-63页 |
| 3.2.1 谐振频率检测法在线提取多层薄膜材料的杨氏模量和残余应力 | 第52-58页 |
| 3.2.2 谐振频率与挠度同时检测法在线提取多层薄膜材料的杨氏模量和残余应力 | 第58-63页 |
| 3.3 小结 | 第63-64页 |
| 第四章 CMOS层叠结构多层薄膜材料力学参数在线测试 | 第64-95页 |
| 4.1 多层薄膜材料测试结构加工工艺步骤 | 第64-71页 |
| 4.2 多层薄膜材料测试结构设计 | 第71-74页 |
| 4.2.1 测试结构尺寸的设计 | 第71-73页 |
| 4.2.2 测试结构版图设计 | 第73-74页 |
| 4.3 测试方法原理与步骤 | 第74-82页 |
| 4.3.1 激光多普勒测振仪对谐振频率的检测 | 第74-79页 |
| 4.3.2 数字全息显微镜对挠度的测量 | 第79-82页 |
| 4.4 多层薄膜材料力学参数的提取与误差分析 | 第82-94页 |
| 4.4.1 测试结构的测量及材料力学参数的提取 | 第82-93页 |
| 4.4.2 误差分析 | 第93-94页 |
| 4.5 小结 | 第94-95页 |
| 第五章 总结与展望 | 第95-97页 |
| 致谢 | 第97-98页 |
| 参考文献 | 第98-105页 |
| 在学期间发表的论文 | 第105页 |
