| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-27页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 硬质合金刀具材料的演变与革新 | 第13-17页 |
| 1.2.1 超细及纳米晶硬质合金 | 第14-15页 |
| 1.2.2 粗晶粒硬质合金 | 第15-16页 |
| 1.2.3 双相结构硬质合金 | 第16页 |
| 1.2.4 功能梯度硬质合金 | 第16页 |
| 1.2.5 板状晶增强硬质合金 | 第16-17页 |
| 1.3 硬质合金上PVD涂层的发展 | 第17-18页 |
| 1.3.1 硬质合金PVD涂层材料的选择 | 第17-18页 |
| 1.3.2 硬质合金PVD涂层设计 | 第18页 |
| 1.4 硬质合金上PVD涂层制备技术的进展 | 第18-20页 |
| 1.4.1 真空蒸镀 | 第18页 |
| 1.4.2 溅射镀膜 | 第18-19页 |
| 1.4.3 真空离子镀 | 第19-20页 |
| 1.4.3.1 空心阴极放电离子镀 | 第19页 |
| 1.4.3.2 多弧离子镀 | 第19-20页 |
| 1.4.3.3 磁过滤式真空阴极电弧沉积 | 第20页 |
| 1.5 TiN、TiCN和Al TiN涂层的研究现状 | 第20-24页 |
| 1.6 涂层的质量管理 | 第24-25页 |
| 1.7 本文的研究内容和意义 | 第25-27页 |
| 第二章 试验内容与方法 | 第27-34页 |
| 2.1 技术路线 | 第27-28页 |
| 2.2 PVD设备系统 | 第28页 |
| 2.3 基体的选取与准备 | 第28-30页 |
| 2.4 薄膜的沉积过程 | 第30页 |
| 2.5 薄膜成分、结构和性能的表征 | 第30-34页 |
| 2.5.1 表面接触角和粗糙度测试 | 第30-31页 |
| 2.5.2 硬度测试 | 第31页 |
| 2.5.3 形貌分析 | 第31页 |
| 2.5.4 物相结构分析 | 第31-32页 |
| 2.5.5 薄膜的成分分析 | 第32页 |
| 2.5.6 薄膜结合性能分析 | 第32-33页 |
| 2.5.7 薄膜的摩擦磨损性能 | 第33页 |
| 2.5.8 薄膜的耐腐蚀性能 | 第33页 |
| 2.5.9 薄膜的热稳定性能 | 第33-34页 |
| 第三章 APA-Arc技术沉积TiN、TiCN和AlTiN硬质膜及其性能研究 | 第34-55页 |
| 3.1 前言 | 第34页 |
| 3.2 试样制备 | 第34-35页 |
| 3.3 硬质膜的微观组织和性能分析 | 第35-52页 |
| 3.3.1 表面粗糙度与接触角 | 第35-37页 |
| 3.3.2 硬质膜硬度与弹性模量 | 第37-38页 |
| 3.3.3 硬质膜形貌观察 | 第38页 |
| 3.3.4 硬质膜的相结构 | 第38-41页 |
| 3.3.5 硬质膜成分分析 | 第41-42页 |
| 3.3.6 硬质膜的结合强度 | 第42-44页 |
| 3.3.7 硬质膜的厚度 | 第44-45页 |
| 3.3.8 硬质膜的摩擦磨损性能 | 第45-48页 |
| 3.3.9 硬质膜的耐腐蚀性能 | 第48-49页 |
| 3.3.10 硬质膜的热稳定性 | 第49-52页 |
| 3.4 分析讨论 | 第52-54页 |
| 3.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 APA-Arc技术沉积不同Al含量的AlTiN硬质膜及其性能研究 | 第55-75页 |
| 4.1 前言 | 第55页 |
| 4.2 试样制备 | 第55-56页 |
| 4.3 硬质膜的微观组织和性能分析 | 第56-73页 |
| 4.3.1 表面接触角与粗糙度 | 第56-58页 |
| 4.3.2 硬质膜硬度与弹性模量 | 第58-59页 |
| 4.3.3 硬质膜形貌观察 | 第59-60页 |
| 4.3.4 硬质膜的相结构 | 第60-62页 |
| 4.3.5 硬质膜成分分析 | 第62-63页 |
| 4.3.6 硬质膜结合强度 | 第63-65页 |
| 4.3.7 硬质膜的厚度 | 第65-66页 |
| 4.3.8 硬质膜摩擦磨损性能 | 第66-69页 |
| 4.3.9 硬质膜的耐腐蚀性能 | 第69-70页 |
| 4.3.10 硬质膜热稳定性 | 第70-73页 |
| 4.4 本章小结 | 第73-75页 |
| 第五章 HIPAC技术沉积TiN薄膜及其性能研究 | 第75-86页 |
| 5.1 前言 | 第75页 |
| 5.2 试样制备 | 第75-76页 |
| 5.3 薄膜的微观组织和性能分析 | 第76-83页 |
| 5.3.1 表面粗糙度与表面形貌观察 | 第76-78页 |
| 5.3.2 薄膜硬度 | 第78页 |
| 5.3.3 薄膜的相结构 | 第78-79页 |
| 5.3.4 薄膜成分分析 | 第79-80页 |
| 5.3.5 薄膜的结合强度 | 第80-81页 |
| 5.3.6 薄膜的厚度 | 第81-83页 |
| 5.4 分析讨论 | 第83-84页 |
| 5.5 本章小结 | 第84-86页 |
| 结论与展望 | 第86-89页 |
| 参考文献 | 第89-97页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第97-98页 |
| 致谢 | 第98-99页 |
| 附件 | 第99页 |
