铜互连清洗及化学处理设备软件控制系统
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题的背景及其理论与实际意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外文献综述 | 第10-14页 |
| 1.3 研究进展与成果、存在的不足 | 第14-15页 |
| 1.4 本研究课题的来源及主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 软件控制系统概述及需求分析 | 第16-34页 |
| 2.1 铜互连清洗软件控制系统概述 | 第16-19页 |
| 2.1.1 清洗工艺 | 第16页 |
| 2.1.2 铜互连清洗设备 | 第16-18页 |
| 2.1.3 铜互连清洗设备软件控制系统 | 第18-19页 |
| 2.2 铜互连清洗软件需求分析 | 第19-20页 |
| 2.2.1 需求分析的工作过程 | 第19页 |
| 2.2.2 需求分析建模的方法 | 第19-20页 |
| 2.2.3 用例模型 | 第20页 |
| 2.3 铜互连清洗设备软件需求 | 第20-32页 |
| 2.3.1 功能需求 | 第20-31页 |
| 2.3.2 性能需求 | 第31页 |
| 2.3.3 可靠性及故障处理需求 | 第31-32页 |
| 本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 软件控制系统设计 | 第34-58页 |
| 3.1 软件架构设计与风格 | 第34-36页 |
| 3.1.1 软件架构含义 | 第34页 |
| 3.1.2 软件架构风格 | 第34-35页 |
| 3.1.3 软件体系结构和设计模式 | 第35-36页 |
| 3.2 软件功能设计 | 第36-46页 |
| 3.2.1 软件架构设计 | 第36-41页 |
| 3.2.2 用户界面层设计 | 第41-43页 |
| 3.2.3 逻辑功能层设计 | 第43-44页 |
| 3.2.4 设备单元层设计 | 第44-45页 |
| 3.2.5 驱动控制层设计 | 第45-46页 |
| 3.3 软件性能设计 | 第46-53页 |
| 3.3.1 软件数据精度设计 | 第46-48页 |
| 3.3.2 软件调度算法设计 | 第48-49页 |
| 3.3.3 软件时间特性设计 | 第49-52页 |
| 3.3.4 软件灵活性设计 | 第52-53页 |
| 3.4 软件可靠性及故障处理设计 | 第53-56页 |
| 3.4.1 可靠性设计 | 第53-54页 |
| 3.4.2 故障处理设计 | 第54-56页 |
| 本章小结 | 第56-58页 |
| 第4章 软件控制系统调试优化与集成 | 第58-64页 |
| 4.1 软件系统的开发 | 第58-61页 |
| 4.1.1 软件开发环境 | 第58页 |
| 4.1.2 软件服务功能实现 | 第58-59页 |
| 4.1.3 软件功能模块实现 | 第59-60页 |
| 4.1.4 软件界面功能实现 | 第60页 |
| 4.1.5 软件通信功能实现 | 第60-61页 |
| 4.2 软件调试优化 | 第61-62页 |
| 4.3 软件系统的集成 | 第62页 |
| 本章小结 | 第62-64页 |
| 第5章 软件控制系统测试 | 第64-70页 |
| 5.1 软件测试概述 | 第64页 |
| 5.2 软件单元测试 | 第64-65页 |
| 5.3 软件集成测试 | 第65-66页 |
| 5.4 软件系统测试 | 第66-68页 |
| 5.4.1 软件仿真测试 | 第66-67页 |
| 5.4.2 软件耐久测试 | 第67页 |
| 5.4.3 软件客户现场测试 | 第67-68页 |
| 本章小结 | 第68-70页 |
| 结论 | 第70-72页 |
| 攻读硕士学位期间获得的科研成果 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
