| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 微悬臂梁 | 第9-14页 |
| 1.1.1 微悬臂梁的工作模式 | 第10-12页 |
| 1.1.2 微悬臂梁的应用 | 第12-14页 |
| 1.2 微悬臂梁弹性常数标定 | 第14-18页 |
| 1.2.1 静态标定法 | 第14页 |
| 1.2.2 动态标定法 | 第14-17页 |
| 1.2.3 国内外高阶模式下弹性常数标定研究现状 | 第17-18页 |
| 1.3 本文的意义和主要工作 | 第18-19页 |
| 第二章 微悬臂梁高阶弹性常数概述 | 第19-25页 |
| 2.1 微悬臂梁振动特性 | 第19-22页 |
| 2.1.1 微悬臂梁高阶共振频率分析 | 第19-20页 |
| 2.1.2 微悬臂梁高阶品质因数分析 | 第20-22页 |
| 2.1.3 微悬臂梁高阶功率谱密度分析 | 第22页 |
| 2.2 微悬臂梁高阶弹性常数检测方法 | 第22-24页 |
| 2.2.1 高阶Sader法 | 第22-23页 |
| 2.2.2 高阶热噪声法 | 第23-24页 |
| 2.3 小结 | 第24-25页 |
| 第三章 原子力显微镜测量微悬臂梁高阶弹性常数 | 第25-37页 |
| 3.1 AFM工作原理 | 第25-27页 |
| 3.1.1 AFM结构 | 第25-26页 |
| 3.1.2 AFM的工作模式 | 第26-27页 |
| 3.2 微悬臂梁高阶共振频率分析 | 第27-28页 |
| 3.3 微悬臂梁的共振频率检测 | 第28-34页 |
| 3.3.1 高阶共振频率测量 | 第28-30页 |
| 3.3.2 微悬臂梁高阶共振频率测量流程 | 第30-32页 |
| 3.3.3 微悬臂梁高阶共振频率分析 | 第32-34页 |
| 3.4 高阶Sader法弹性常数计算 | 第34-35页 |
| 3.5 小结 | 第35-37页 |
| 第四章 显微多普勒激光测振仪测量微悬臂梁高阶弹性常数 | 第37-48页 |
| 4.1 显微激光多普勒测振 | 第37-42页 |
| 4.1.1 显微激光多普勒测振原理 | 第37-40页 |
| 4.1.2 微悬臂梁振动特性的测量 | 第40-42页 |
| 4.2 微悬臂梁振动特性的测量流程 | 第42-43页 |
| 4.3 微悬臂梁振动特性 | 第43-46页 |
| 4.4 高阶热噪声法弹性常数计算 | 第46-47页 |
| 4.5 小结 | 第47-48页 |
| 第五章 实验结果与讨论 | 第48-54页 |
| 5.1 高阶热噪声法和Sader法对比 | 第48-49页 |
| 5.2 振型拟合法验证 | 第49-53页 |
| 5.3 小结 | 第53-54页 |
| 第六章 总结与展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 附表 | 第57-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |