| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 序言 | 第9-18页 |
| ·等离子体简介 | 第9-10页 |
| ·等离子体的应用 | 第10-11页 |
| ·低气压等离子体放电源的种类 | 第11-15页 |
| ·电子回旋共振等离子体源（ECRs） | 第11-12页 |
| ·感应耦合等离子体源（ICPs） | 第12-14页 |
| ·甚高频容性耦合等离子体源(VHF-CCPs) | 第14-15页 |
| ·容性耦合等离子体的研究方法与现状 | 第15-17页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 朗缪尔双探针原理 | 第18-23页 |
| ·探针发展历史 | 第18页 |
| ·朗缪尔双探针原理 | 第18-23页 |
| 第三章 发射光谱法测量N2转动温度和振动温度的原理与计算方法 | 第23-31页 |
| ·发射光谱法测量N2 转动温度和振动温度的原理 | 第23页 |
| ·发射光谱法测量N2 转动温度和振动温度的计算方法 | 第23-31页 |
| 第四章 实验装置与实验方法 | 第31-33页 |
| ·实验装置 | 第31-32页 |
| ·实验方法 | 第32-33页 |
| 第五章 实验结果及分析 | 第33-45页 |
| ·发射光谱的不均匀性 | 第33-38页 |
| ·电子温度Te 和电子密度Ne 的不均匀性 | 第38-40页 |
| ·转动温度和振动温度的不均匀性 | 第40-45页 |
| 第六章 结论 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第50-51页 |
| 附录 | 第51-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |