| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 图表清单 | 第9-13页 |
| 目录 | 第13-17页 |
| CONTENTS | 第17-21页 |
| 第一章 绪论 | 第21-37页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第21-22页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第22-34页 |
| 1.2.1 大行程宏微驱动定位平台研究现状 | 第22-29页 |
| 1.2.2 宏微双驱动定位技术现状 | 第29-32页 |
| 1.2.3 直线度误差检测及补偿研究现状 | 第32-34页 |
| 1.3 课题的提出及主要研究内容 | 第34-35页 |
| 1.4 课题来源 | 第35-37页 |
| 第二章 宏微复合平台建模及动力学分析 | 第37-59页 |
| 2.1 引言 | 第37页 |
| 2.2 垂直轴宏微复合平台的方案设计 | 第37-42页 |
| 2.2.1 宏动台的方案设计 | 第37-38页 |
| 2.2.2 微动台总方案设计 | 第38-41页 |
| 2.2.3 微动台的工作原理 | 第41页 |
| 2.2.4 微动台的结构布局方案 | 第41-42页 |
| 2.3 宏微复合平台的定位方式 | 第42-44页 |
| 2.4 宏微复合平台的动力学建模 | 第44-52页 |
| 2.4.1 同轴复合平台的动力学建模 | 第45-48页 |
| 2.4.2 垂直轴复合平台的动力学建模 | 第48-50页 |
| 2.4.3 基于压电陶瓷的微动台的阶跃响应 | 第50-52页 |
| 2.5 宏微复合平台的动态特性 | 第52-57页 |
| 2.5.1 同轴复合宏驱动方式 | 第53-54页 |
| 2.5.2 同轴复合微驱动方式 | 第54-56页 |
| 2.5.3 垂直轴复合方式 | 第56-57页 |
| 2.6 本章小结 | 第57-59页 |
| 第三章 双柔性平行六连杆徵动台力学分析及结构优化 | 第59-75页 |
| 3.1 引言 | 第59页 |
| 3.2 微动台静力学分析 | 第59-64页 |
| 3.2.1 —般柔性铰链的刚度设计 | 第60-61页 |
| 3.2.2 直圆型柔性铰链的刚度计算 | 第61-62页 |
| 3.2.3 双柔性平行六连杆微动台整体刚度模型 | 第62-63页 |
| 3.2.4 转角刚度校核 | 第63页 |
| 3.2.5 柔性铰链的最大应力 | 第63-64页 |
| 3.3 微动台固有频率解析式 | 第64-66页 |
| 3.4 微动台的结构优化及参数选择 | 第66-74页 |
| 3.4.1 柔性铰链参数对刚度及输出位移的影响 | 第66-68页 |
| 3.4.2 基于静动态平衡的微动台结构优化 | 第68-73页 |
| 3.4.3 微动台性能计算及校核 | 第73-74页 |
| 3.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 第四章微动台位移输出特压电陶瓷前馈控制 | 第75-97页 |
| 4.1 引言 | 第75页 |
| 4.2 压电陶瓷驱动器基本理论 | 第75-77页 |
| 4.3 空载压电陶瓷位移输出特性 | 第77-82页 |
| 4.3.1 实验仪器 | 第77页 |
| 4.3.2 实验方法 | 第77-79页 |
| 4.3.3 实验结果分析 | 第79-82页 |
| 4.4 双柔性平行六连杆微动台位移输出特性及前馈控制 | 第82-93页 |
| 4.4.1 微动台正交试验 | 第82-86页 |
| 4.4.2 回归分析及压电陶瓷前馈控制函数 | 第86-89页 |
| 4.4.3 微动台位移输出特性 | 第89-91页 |
| 4.4.4 压电陶瓷前馈控制误差实验 | 第91-93页 |
| 4.5 微动台的阶跃响应分析 | 第93-94页 |
| 4.6 本章小结 | 第94-97页 |
| 第五章 宏动台直线度误差评定及补偿软件开发 | 第97-111页 |
| 5.1 引言 | 第97页 |
| 5.2 平面直线度误差的辨识方法 | 第97-99页 |
| 5.3 平面直线度误差的评定及算法 | 第99-100页 |
| 5.4 基于激光干涉仪和最小二乘法的宏动台直线度误差评定 | 第100-106页 |
| 5.4.1 垂直轴宏微复合平台 | 第100-101页 |
| 5.4.2 宏动台导轨直线度测量 | 第101-102页 |
| 5.4.3 宏动台导轨直线度评定 | 第102-104页 |
| 5.4.4 宏动台导轨直线度误差补偿数据表 | 第104-106页 |
| 5.5 微动台误差补偿控制软件设计 | 第106-110页 |
| 5.5.1 软件功能及流程 | 第106-108页 |
| 5.5.2 界面设计 | 第108页 |
| 5.5.3 算法实现 | 第108-110页 |
| 5.6 本章小结 | 第110-111页 |
| 第六章 垂直轴宏微复合平台实验研究与评价 | 第111-129页 |
| 6.1 引言 | 第111页 |
| 6.2 输出位移实验 | 第111-113页 |
| 6.3 刚度及其线性度实验 | 第113-119页 |
| 6.3.1 压电陶瓷测试刚度及其线性度实验 | 第113-114页 |
| 6.3.2 钢制杆件测试刚度及其线性度实验 | 第114-115页 |
| 6.3.3 直接施力测试刚度及其线性度实验 | 第115-119页 |
| 6.3.4 实验结果分析 | 第119页 |
| 6.4 承载能力实验 | 第119-120页 |
| 6.5 重复定位精度实验 | 第120-121页 |
| 6.6 模态实验分析 | 第121-123页 |
| 6.6.1 模态实验仪器 | 第121-122页 |
| 6.6.2 模态实验方法及结果 | 第122-123页 |
| 6.7 直线度误差补偿实验 | 第123-126页 |
| 6.8 本章小结 | 第126-129页 |
| 结论与展望 | 第129-133页 |
| 参考文献 | 第133-144页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第144-145页 |
| 攻读学位论文期间获授权（申请）的专利 | 第145-147页 |
| 致谢 | 第147-148页 |
| 附录I | 第148-149页 |
| 附录II | 第149-150页 |
| 附录III | 第150-152页 |
| 附录IV | 第152-153页 |
| 附录V | 第153页 |