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双阴极等离子沉积TiN涂层的工艺及性能研究

摘要第5-6页
Abstract第6页
第1章 绪论第9-19页
    1.1 研究背景第9-10页
    1.2 双阴极等离子渗金属技术第10-12页
        1.2.1 双阴极等离子渗金属的基本原理第10-11页
        1.2.2 双阴极等离子渗金属的特点第11页
        1.2.3 双阴极等离子渗金属技术的研究进展与应用第11-12页
    1.3 氮化钛陶瓷材料的研究与进展第12-15页
        1.3.1 氮化钛的结构与性能第12-14页
        1.3.2 氮化钛涂层的应用第14页
        1.3.3 氮化钛陶瓷涂层研究新进展第14-15页
    1.4 课题的提出第15-19页
        1.4.1 课题提出的依据第15-16页
        1.4.2 课题的主要研究内容第16-19页
第2章 实验材料与实验方案第19-27页
    2.1 实验材料第19页
    2.2 实验设备及涂层制备工艺第19-21页
    2.3 分析方法及手段第21-27页
        2.3.1 微观组织和相组成分析第21页
        2.3.2 腐蚀性能测试第21-22页
        2.3.3 X射线光电子能谱(XPS)测试第22-23页
        2.3.4 涂层与基体结合力测定第23-24页
        2.3.5 硬度和弹性模量测试第24-25页
        2.3.6 磨损性能测试第25-27页
第3章 TiN涂层的物相及微观组织分析第27-37页
    3.1 涂层的表面形貌第27-29页
    3.2 涂层的XRD分析第29-31页
    3.3 涂层的横截面SEM分析第31-33页
    3.4 涂层的TEM分析第33-34页
    3.5 本章小结第34-37页
第4章 TiN涂层的腐蚀性能研究第37-47页
    4.1 TiN涂层的腐蚀性能研究第37-47页
        4.1.1 开路电位(OCP)—时间测试第37-38页
        4.1.2 动电位极化曲线测试第38-40页
        4.1.3 电化学阻抗谱(EIS) 分析第40-43页
        4.1.4 腐蚀形貌观察第43-44页
        4.1.5 钝化膜成分XPS分析第44-47页
第5章 涂层的力学性能及磨损性能分析第47-61页
    5.1 涂层与基体间的结合力分析第47-49页
    5.2 TiN涂层的韧性分析第49-51页
    5.3 TiN涂层的磨损性能分析第51-58页
        5.3.1 涂层的摩擦系数曲线第51-52页
        5.3.2 涂层磨痕的SEM形貌图第52-57页
        5.3.3 TiN涂层的比磨损率第57-58页
        5.3.4 TiN涂层的磨损机理分析第58页
    5.4 本章小结第58-61页
第6章 结论第61-63页
参考文献第63-71页
致谢第71页

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