多弧离子镀制备Ti/TiN多层薄膜的摩擦学和耐腐蚀性能
| 摘要 | 第1-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| ·硬质薄膜 | 第11-13页 |
| ·硬质薄膜的发展 | 第11-12页 |
| ·硬质薄膜的制备 | 第12-13页 |
| ·TiN系硬质薄膜 | 第13页 |
| ·薄膜的摩擦磨损及腐蚀 | 第13-16页 |
| ·摩擦学的发展历程 | 第13-14页 |
| ·磨损及磨损机理 | 第14-16页 |
| ·薄膜的腐蚀 | 第16页 |
| ·论文研究内容及意义 | 第16-18页 |
| ·研究意义 | 第16-17页 |
| ·研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 Ti/TiN多层膜的结构和力学性能 | 第18-28页 |
| ·实验过程 | 第18-20页 |
| ·薄膜的制备 | 第18-19页 |
| ·表征方法 | 第19-20页 |
| ·TiN薄膜的结构及物相分析 | 第20-22页 |
| ·TiN薄膜的微观形貌 | 第20-21页 |
| ·TiN薄膜物相分析 | 第21-22页 |
| ·TiN薄膜的力学性能分析 | 第22-26页 |
| ·TiN薄膜的表面粗糙度 | 第22-23页 |
| ·TiN薄膜的硬度和弹性模量 | 第23-25页 |
| ·膜基结合力 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 Ti/TiN多层膜的摩擦学性能 | 第28-40页 |
| ·实验过程 | 第28-29页 |
| ·5N载荷下Ti/TiN多层膜的摩擦磨损性能 | 第29-34页 |
| ·摩擦曲线分析 | 第29-30页 |
| ·摩擦系数与磨损率 | 第30-31页 |
| ·磨痕形貌 | 第31-33页 |
| ·磨斑形貌 | 第33-34页 |
| ·7N载荷下Ti/TiN多层膜的摩擦磨损性能 | 第34-38页 |
| ·摩擦曲线分析 | 第34页 |
| ·摩擦系数和磨损率 | 第34-36页 |
| ·磨痕形貌 | 第36-37页 |
| ·磨斑面分布 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 Ti/TiN多层膜的电化学性能 | 第40-48页 |
| ·实验过程 | 第40-41页 |
| ·在去离子水中的电化学测试 | 第41-42页 |
| ·在 3.5 % NaCl溶液中的电化学测试 | 第42-44页 |
| ·动电位极化测试 | 第42-43页 |
| ·电化学阻抗谱测试 | 第43-44页 |
| ·盐雾实验后电化学测试 | 第44-46页 |
| ·盐雾实验 | 第44-45页 |
| ·盐雾后电化学测试 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 结论与展望 | 第48-50页 |
| 结论 | 第48-49页 |
| 展望 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第57页 |
