| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的研究意义 | 第8-9页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的研究发展 | 第9-12页 |
| ·O/M/O透明多层薄膜 | 第12-14页 |
| ·O/M/O透明多层薄膜的主要材料 | 第13-14页 |
| ·O/M/O透明多层薄膜的研究现状 | 第14页 |
| ·本论文的研究和创新 | 第14-16页 |
| 第二章 氧化物多层电极的制备和表征技术 | 第16-20页 |
| ·氧化物多层电极的制备方法 | 第16-18页 |
| ·磁控溅射制备薄膜的优点 | 第16-17页 |
| ·磁控溅射制备薄膜的原理 | 第17-18页 |
| ·氧化物多层电极的表征 | 第18-20页 |
| ·薄膜表面形貌 | 第18页 |
| ·薄膜透光率 | 第18-19页 |
| ·薄膜晶体结构 | 第19-20页 |
| 第三章 TiO_2/Ag/TiO_2透明电极的制备及其性能研究 | 第20-27页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·实验 | 第20-21页 |
| ·TiO_2/Ag/TiO_2电极制备 | 第20-21页 |
| ·TiO_2/Ag/TiO_2性能表征 | 第21页 |
| ·讨论与分析 | 第21-26页 |
| ·TiO_2膜厚对性能的影响 | 第22-23页 |
| ·Ag薄膜厚度对电极性能的影响 | 第23-25页 |
| ·TiO_2/Ag/TiO_2导电性分析 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第四章 TiO_2/Ag/ZnO透明电极的制备及其性能研究 | 第27-40页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·实验 | 第27-29页 |
| ·TiO_2/Ag/ZnO和ZnO/Ag/TiO_2电极的制备 | 第27-28页 |
| ·TiO_2/Ag/ZnO和ZnO/Ag/TiO_2电极性能表征 | 第28-29页 |
| ·结果与讨论 | 第29-38页 |
| ·ZnO靶溅射功率对薄膜性能的影响 | 第29-30页 |
| ·TiO_2/Ag/ZnO和ZnO/Ag/TiO_2光电性能的比较 | 第30-31页 |
| ·TiO_2和ZnO膜厚度对电极性能的影响 | 第31-32页 |
| ·Ag靶溅射功率对电极性能的影响 | 第32-36页 |
| ·Ag薄膜厚度对电极性能的影响 | 第36-38页 |
| ·TiO_2/Ag/ZnO多层电极柔性测试 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第五章 O_2对ZnO/Ag/ZnO和TiO_2/Ag/ZnO性能改善的研究 | 第40-52页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·实验 | 第40-41页 |
| ·ZnO/Ag/ZnO和TiO_2/Ag/ZnO电极的制备 | 第40-41页 |
| ·ZnO/Ag/ZnO和TiO_2/Ag/ZnO电极性能表征 | 第41页 |
| ·结果与讨论 | 第41-51页 |
| ·O_2对生长在ZnO上Ag膜形貌的影响 | 第41-43页 |
| ·O_2浓度对ZnO/Ag/ZnO电极透光率的影响 | 第43-46页 |
| ·O_2浓度对ZnO/Ag/ZnO电极导电性的影响 | 第46-48页 |
| ·O_2浓度对生长在TiO_2上Ag膜形貌的影响 | 第48-49页 |
| ·O_2浓度对TiO_2/Ag/ZnO电极性能的影响 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第六章 总结与展望 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第58-59页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第59-60页 |
| 附录3 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
