计量型扫描电镜的测量与控制系统设计研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| ·论文的研究背景及意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状分析 | 第12-17页 |
| ·纳米测量与量值溯源方法现状 | 第12-13页 |
| ·扫描电镜的测量原理分析 | 第13-15页 |
| ·计量型扫描电镜的国内外研究现状 | 第15-17页 |
| ·论文的研究内容及组织结构 | 第17-19页 |
| 第二章 计量型扫描电镜测控系统总体设计与分析 | 第19-32页 |
| ·系统硬件设备的分析与选型 | 第19-23页 |
| ·蔡司ULTRA 55场发射扫描电镜 | 第19-20页 |
| ·PI-P561高速高精度纳米位移台 | 第20-21页 |
| ·IEE-50电机位移台 | 第21页 |
| ·安捷伦10706BV高稳定性平面镜干涉仪 | 第21-23页 |
| ·测控系统总体方案设计 | 第23-24页 |
| ·机械结构设计与分析 | 第24-29页 |
| ·总体结构设计 | 第24-25页 |
| ·双层位移台驱动结构设计 | 第25-26页 |
| ·悬挂式计量子系统结构设计 | 第26页 |
| ·可调节样品台设计 | 第26-27页 |
| ·侧板承重位置受力形变仿真 | 第27-29页 |
| ·上位机软件总流程设计 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 激光干涉位移测量子系统设计 | 第32-41页 |
| ·激光外差干涉测量原理 | 第32-33页 |
| ·两轴位移测量子系统光路布局设计 | 第33-34页 |
| ·软件设计 | 第34-38页 |
| ·安捷伦N1231B测量板 | 第34-35页 |
| ·软件程序设计 | 第35-38页 |
| ·子系统稳定性验证 | 第38-39页 |
| ·误差分析 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 位移台运动控制子系统设计 | 第41-51页 |
| ·压电陶瓷驱动纳米位移台控制方法研究 | 第41页 |
| ·运动控制子系统方案设计 | 第41-42页 |
| ·软件设计 | 第42-46页 |
| ·LabVIEW8.5开发环境 | 第42-43页 |
| ·软件设计流程 | 第43-44页 |
| ·基于LabVEIW的信号发生器模块设计 | 第44-46页 |
| ·运动控制软件设计 | 第46页 |
| ·运动控制子系统性能验证 | 第46-49页 |
| ·纳米位移台运动性能验证 | 第46-48页 |
| ·机械台和纳米台的自有振动测量实验 | 第48-49页 |
| ·纳米位移台X-Y两轴间耦合振动测量实验 | 第49页 |
| ·误差分析 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 图像采集与处理子系统设计 | 第51-63页 |
| ·总体设计 | 第51-52页 |
| ·凌华DAQ-2010多功能数据采集卡 | 第51页 |
| ·子系统方案设计 | 第51-52页 |
| ·软件设计 | 第52-61页 |
| ·软件设计流程 | 第52-53页 |
| ·事件状态机 | 第53-54页 |
| ·图像采集模块 | 第54-57页 |
| ·图像处理模块 | 第57-61页 |
| ·图像处理系统性能验证 | 第61-62页 |
| ·误差分析 | 第62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 实验和结果 | 第63-72页 |
| ·测控系统软硬件实现 | 第63-65页 |
| ·实验装置构建 | 第63页 |
| ·控制软件界面实现 | 第63-65页 |
| ·测控系统不确定度分析 | 第65-66页 |
| ·1μm栅格标准样品线宽测量实验 | 第66-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第七章 总结和展望 | 第72-75页 |
| ·论文总结 | 第72-73页 |
| ·论文展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 发表的学术论文 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
