溶液法制备ZnO薄膜及其性能的研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-8页
第一章 绪论	第8-13页
·引言	第8页
·氧化锌研究历史和发展前景	第8-12页
·氧化锌体材料的研究	第8-9页
·氧化锌薄膜材料的研究	第9-10页
·氧化锌薄膜器件的研究	第10-11页
·氧化锌的发展现状和前景	第11-12页
·选题依据和主要工作内容	第12-13页
第二章 氧化锌结构和制备方法	第13-24页
·氧化锌结构特性	第13-15页
·氧化锌晶格结构	第13-15页
·氧化锌缺陷及掺杂	第15页
·氧化锌薄膜的制备方法	第15-19页
·分子束外延	第15-16页
·脉冲激光淀积	第16-17页
·磁控溅射	第17页
·化学气相淀积	第17页
·溶液法	第17-19页
·氧化锌薄膜晶体管结构和工作原理	第19-24页
·氧化锌TFT的结构	第19-21页
·氧化锌TFT的工作原理	第21-24页
第三章 水热处理温度对氧化锌薄膜的影响	第24-39页
·实验	第24-26页
·样品制备	第24页
·热处理工艺的选定	第24-25页
·样品测试	第25-26页
·水热处理温度对薄膜的影响	第26-38页
·基于三层结构模型对薄膜微观结构的研究	第26-29页
·基于四层结构模型对薄膜微观结构的研究	第29-33页
·结果与机理论述	第33-35页
·水热处理温度对光学带隙Eg的影响	第35-38页
·本章小结	第38-39页
第四章 水热处理压强对氧化锌薄膜的影响	第39-44页
·水热处理压强对氧化锌薄膜的影响	第39-42页
·水热处理压强对薄膜微观结构的影响	第39-41页
·水热处理压强对光学带隙Eg的影响	第41-42页
·水热处理与高温处理效果对比分析	第42-43页
·本章小结	第43-44页
主要结论与展望	第44-46页
主要结论	第44页
展望	第44-46页
致谢	第46-47页
参考文献	第47-51页
附录: 作者在攻读硕士学位期间发表的论文	第51页