| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 引言 | 第8-17页 |
| ·课题来源 | 第8-12页 |
| ·常规能源的概况 | 第8-9页 |
| ·太阳电池的优点 | 第9-10页 |
| ·太阳电池的现状及其发展趋势 | 第10-12页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的发展概述 | 第12-15页 |
| ·透明导电薄膜 | 第12页 |
| ·透明导电氧化物薄膜发展概述 | 第12-13页 |
| ·ZnO:Al 透明导电膜 | 第13页 |
| ·绒面结构的 ZnO:Al 透明导电膜 | 第13-15页 |
| ·本论文的研究内容及组织 | 第15-17页 |
| ·本论文的研究内容 | 第15-16页 |
| ·本论文的组织 | 第16-17页 |
| 2 ZnO:Al 薄膜及非晶硅薄膜太阳电池制备技术 | 第17-21页 |
| ·溶胶-凝胶法制备ZnO:Al 薄膜技术 | 第17-18页 |
| ·磁控溅射制备 ZnO:Al 薄膜技术 | 第18-19页 |
| ·非晶硅薄膜太阳电池制备技术 | 第19-21页 |
| 3 溶胶-凝胶法制备 ZnO:Al 薄膜 | 第21-34页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·实验 | 第21-25页 |
| ·结果与讨论 | 第25-33页 |
| ·溶液浓度对薄膜微结构的影响 | 第26-27页 |
| ·掺铝浓度对薄膜微结构和电阻率的影响 | 第27-29页 |
| ·陈化时间对薄膜微结构的影响 | 第29-31页 |
| ·薄膜厚度对薄膜微结构的影响 | 第31-32页 |
| ·退火温度对薄膜微结构的影响 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 二步法制备绒面结构的ZnO:Al 薄膜 | 第34-44页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·实验 | 第34-37页 |
| ·磁控溅射实验装置 | 第34-36页 |
| ·样品制备 | 第36-37页 |
| ·结果与讨论 | 第37-43页 |
| ·衬底温度对薄膜生长的影响 | 第37-39页 |
| ·ZnO:Al 薄膜结构特性 | 第39-41页 |
| ·ZnO:Al 薄膜的光学性能 | 第41-42页 |
| ·ZnO:Al 薄膜的电学特性 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 5 绒面前电极在薄膜太阳电池的作用 | 第44-49页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·实验 | 第44-46页 |
| ·结果与讨论 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 6 结论与展望 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-56页 |
| 附录：攻读硕士学位期间所取得的科研成果 | 第56页 |