| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·课题背景 | 第10-14页 |
| ·MEMS 技术 | 第10-11页 |
| ·微 Fabry-Perot 腔滤波器的发展 | 第11-14页 |
| ·微 Fabry-Perot 腔滤波器的应用 | 第14-16页 |
| ·微型光谱仪分光模块中的应用 | 第14页 |
| ·光通信波分复用技术中的应用 | 第14-16页 |
| ·本论文研究的内容和创新点 | 第16-18页 |
| ·研究内容 | 第16-17页 |
| ·研究创新点 | 第17-18页 |
| 第2章 基于光栅与 Fabry-Perot 腔相结合的滤波器相关理论知识 | 第18-26页 |
| ·Fabry-Perot 滤波器基本原理 | 第18-19页 |
| ·评价 Fabry-Perot 腔滤波器性能的主要参数 | 第19-20页 |
| ·光栅与 Fabry-Perot 腔相结合的滤波器实现机理 | 第20-25页 |
| ·平行光通过光栅后的衍射 | 第22-24页 |
| ·衍射光通过 Fabry-Perot 腔后的滤波 | 第24-25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 第3章 微 Fabry-Perot 腔滤波器的设计 | 第26-51页 |
| ·结构设计 | 第26-31页 |
| ·概述 | 第26-27页 |
| ·驱动方式设计 | 第27-29页 |
| ·Fabry-Perot 腔结构设计 | 第29-31页 |
| ·器件材料选择 | 第31-35页 |
| ·概述 | 第32页 |
| ·驱动器材料的选择 | 第32-33页 |
| ·反射镜材料 | 第33-35页 |
| ·静电驱动微 Fabry-Perot 腔滤波器的模拟分析 | 第35-49页 |
| ·概述 | 第35-37页 |
| ·静电驱动的吸合效应 | 第37-39页 |
| ·Intellisuit 仿真分析 | 第39-47页 |
| ·结构参数优化 | 第47-49页 |
| ·小结 | 第49-51页 |
| 第4章 微 Fabry-Perot 腔滤波器的制作工艺步骤 | 第51-63页 |
| ·关键工艺简介 | 第51-55页 |
| ·光刻 | 第51-53页 |
| ·沉积 | 第53-54页 |
| ·刻蚀 | 第54-55页 |
| ·表面微加工技术 | 第55-58页 |
| ·概述 | 第55-56页 |
| ·工艺中需要考虑的问题及其解决办法 | 第56-58页 |
| ·微 Fabry-Perot 腔滤波器的掩模版版图绘制 | 第58-60页 |
| ·微 Fabry-Perot 腔滤波器的制作流程探讨 | 第60-62页 |
| ·小结 | 第62-63页 |
| 第5章 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·全文总结 | 第63-64页 |
| ·后续的工作进展 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第67页 |
