| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·研究背景和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-20页 |
| ·微位移定位平台的研究现状 | 第11-14页 |
| ·微位移驱动器的发展现状 | 第14-17页 |
| ·压电陶瓷驱动微定位检测技术研究现状 | 第17-20页 |
| ·课题来源 | 第20页 |
| ·课题研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 基于平行薄板柔性解耦梁的小型化二维微位移定位平台的研制 | 第22-38页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·微位移定位平台的总体设计 | 第22-23页 |
| ·柔性铰链结构形式的选取及对其建模分析 | 第23-32页 |
| ·确定微位移定位平台柔性铰链的结构形式 | 第23-24页 |
| ·平行薄板柔性梁和正圆弧型柔性铰链的建模分析 | 第24-30页 |
| ·微位移定位平台铰链刚度对压电陶瓷驱动器输出位移的影响 | 第30-32页 |
| ·杠杆位移放大机构支点位置的确定 | 第32-33页 |
| ·微位移定位平台的 ANSYS 仿真分析 | 第33-35页 |
| ·输出位移分析 | 第34页 |
| ·位移耦合分析 | 第34-35页 |
| ·应力分析 | 第35页 |
| ·预紧机构的设计 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 硅基 MEMS 梳齿电容微位移传感器的设计 | 第38-55页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·MEMS 梳齿电容微位移传感器的总体设计 | 第38-39页 |
| ·MEMS 梳齿电容微位移传感器工作原理分析 | 第39-40页 |
| ·MEMS 梳齿电容微位移传感器位移检测失效分析 | 第40-43页 |
| ·梳齿不平行效应分析 | 第41-43页 |
| ·传感器薄弱结构失效分析 | 第43页 |
| ·MEMS 梳齿电容微位移传感器的结构设计 | 第43-48页 |
| ·传感器结构参数的设定 | 第43-46页 |
| ·传感器柔性梁的设计 | 第46-48页 |
| ·ANSYS 有限元仿真分析 | 第48-51页 |
| ·MEMS 梳齿电容微位移传感器制作工艺设计 | 第51-53页 |
| ·梳齿电容微位移传感器与微位移定位平台的集成 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 控制系统 | 第55-67页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·建立控制系统中各个模块 | 第55-57页 |
| ·建立压电驱动模块 | 第55-56页 |
| ·建立传感器信号转换模块 | 第56-57页 |
| ·建立传感器与计算机通信模块 | 第57页 |
| ·微位移定位平台系统模型的建立 | 第57-59页 |
| ·经典 PID 反馈控制研究 | 第59-61页 |
| ·PID 控制原理 | 第59-60页 |
| ·数字 PID 控制算法 | 第60-61页 |
| ·分析 PID 参数对控制系统的影响 | 第61-62页 |
| ·基于前馈控制的数字 PID 反馈控制 | 第62-63页 |
| ·PID 控制算法的 MATLAB 仿真及参数确定 | 第63-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 实验研究 | 第67-74页 |
| ·引言 | 第67页 |
| ·建立实验系统 | 第67-68页 |
| ·微位移定位平台输出位移特性测试 | 第68-70页 |
| ·微位移定位平台的分辨率测试 | 第70-71页 |
| ·微位移定位平台的耦合测试 | 第71-72页 |
| ·微位移定位平台的响应特性 | 第72页 |
| ·对微位移定位平台测试数据进行的分析拟合 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| ·总结 | 第74-75页 |
| ·展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 攻读硕士学位期间科研成果 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
