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基于分子动力学的多晶硅纳米切削加工机理研究

摘要第1-7页
Abstract第7-12页
主要符号表第12-13页
第1章 绪论第13-22页
   ·课题的来源及研究的目的和意义第13-15页
   ·基于分子动力学的纳米加工过程国内外研究现状第15-19页
     ·分子动力学仿真的发展简介第15-16页
     ·研究纳米加工机理对发展纳米加工技术的重要性第16-17页
     ·基于分子动力学方法研究纳米加工机理的发展概况第17-19页
   ·多晶硅纳米加工机理研究难点第19-20页
     ·分子动力学模型的建立第19页
     ·仿真算法及软件的开发第19页
     ·多晶硅纳米加工基础理论不完善第19-20页
     ·实验条件苛刻第20页
   ·论文主要内容第20-21页
   ·论文章节安排第21-22页
第2章 多晶硅纳米加工分子动力学仿真方法研究第22-39页
   ·分子动力学仿真方法第22-29页
     ·背景及基本原理第22-24页
     ·模型的建立第24-26页
     ·势函数的选择第26-28页
     ·经典运动方程第28-29页
   ·多晶硅纳米加工仿真建模基本内容第29-38页
     ·仿真流程设计第29-30页
     ·势函数确立及原子间力的求导第30-32页
     ·边界条件第32-34页
     ·原子位置积分运算及时间步长选择第34-36页
     ·程序计算流程简化第36-37页
     ·单位标准化及速度调整第37-38页
   ·本章小结第38-39页
第3章 多晶硅纳米级切削过程仿真模型建立与研究第39-49页
   ·晶体缺陷第39-43页
     ·晶体缺陷分类第39-40页
     ·空位与夹杂第40-41页
     ·位错缺陷第41-43页
     ·小角度晶界第43页
   ·多晶硅纳米切削仿真模型第43-46页
     ·晶体结构第43-44页
     ·多晶硅纳米切削模型第44-45页
     ·切削条件第45-46页
   ·弛豫过程分析第46-48页
   ·本章小结第48-49页
第4章 多晶硅纳米级切削过程仿真和结果分析第49-59页
   ·分子动力学仿真参数的设定第49-50页
   ·仿真计算步骤第50-51页
   ·纳米切削仿真过程分析第51-57页
     ·材料去除和表面形成过程分析第51-54页
     ·切削过程中切削力分析第54-55页
     ·切削过程中势能分析第55-56页
     ·切削过程中温度分析第56-57页
   ·本章小结第57-59页
第5章 切削参数对多晶硅纳米切削加工的影响研究第59-71页
   ·切削速度对纳米切削加工的影响第59-63页
     ·工件结构形貌的变化第59-60页
     ·切削速度对切削力变化的影响第60-61页
     ·切削速度对势能变化的影响第61页
     ·切削速度对温度变化的影响第61-63页
   ·切削厚度对纳米切削加工的影响第63-66页
     ·工件结构形貌的变化第63-65页
     ·切削厚度对切削力及势能变化的影响第65-66页
     ·切削厚度对温度变化的影响第66页
   ·金刚石刀具前角对纳米切削加工的影响第66-69页
     ·工件结构形貌的变化第67-68页
     ·前角对切削力变化的影响第68-69页
   ·本章小结第69-71页
结论第71-73页
参考文献第73-77页
致谢第77-78页
攻读硕士期间发表(含录用)的学术论文第78页

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