基于分子动力学的多晶硅纳米切削加工机理研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 主要符号表 | 第12-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-22页 |
| ·课题的来源及研究的目的和意义 | 第13-15页 |
| ·基于分子动力学的纳米加工过程国内外研究现状 | 第15-19页 |
| ·分子动力学仿真的发展简介 | 第15-16页 |
| ·研究纳米加工机理对发展纳米加工技术的重要性 | 第16-17页 |
| ·基于分子动力学方法研究纳米加工机理的发展概况 | 第17-19页 |
| ·多晶硅纳米加工机理研究难点 | 第19-20页 |
| ·分子动力学模型的建立 | 第19页 |
| ·仿真算法及软件的开发 | 第19页 |
| ·多晶硅纳米加工基础理论不完善 | 第19-20页 |
| ·实验条件苛刻 | 第20页 |
| ·论文主要内容 | 第20-21页 |
| ·论文章节安排 | 第21-22页 |
| 第2章 多晶硅纳米加工分子动力学仿真方法研究 | 第22-39页 |
| ·分子动力学仿真方法 | 第22-29页 |
| ·背景及基本原理 | 第22-24页 |
| ·模型的建立 | 第24-26页 |
| ·势函数的选择 | 第26-28页 |
| ·经典运动方程 | 第28-29页 |
| ·多晶硅纳米加工仿真建模基本内容 | 第29-38页 |
| ·仿真流程设计 | 第29-30页 |
| ·势函数确立及原子间力的求导 | 第30-32页 |
| ·边界条件 | 第32-34页 |
| ·原子位置积分运算及时间步长选择 | 第34-36页 |
| ·程序计算流程简化 | 第36-37页 |
| ·单位标准化及速度调整 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 多晶硅纳米级切削过程仿真模型建立与研究 | 第39-49页 |
| ·晶体缺陷 | 第39-43页 |
| ·晶体缺陷分类 | 第39-40页 |
| ·空位与夹杂 | 第40-41页 |
| ·位错缺陷 | 第41-43页 |
| ·小角度晶界 | 第43页 |
| ·多晶硅纳米切削仿真模型 | 第43-46页 |
| ·晶体结构 | 第43-44页 |
| ·多晶硅纳米切削模型 | 第44-45页 |
| ·切削条件 | 第45-46页 |
| ·弛豫过程分析 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 多晶硅纳米级切削过程仿真和结果分析 | 第49-59页 |
| ·分子动力学仿真参数的设定 | 第49-50页 |
| ·仿真计算步骤 | 第50-51页 |
| ·纳米切削仿真过程分析 | 第51-57页 |
| ·材料去除和表面形成过程分析 | 第51-54页 |
| ·切削过程中切削力分析 | 第54-55页 |
| ·切削过程中势能分析 | 第55-56页 |
| ·切削过程中温度分析 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第5章 切削参数对多晶硅纳米切削加工的影响研究 | 第59-71页 |
| ·切削速度对纳米切削加工的影响 | 第59-63页 |
| ·工件结构形貌的变化 | 第59-60页 |
| ·切削速度对切削力变化的影响 | 第60-61页 |
| ·切削速度对势能变化的影响 | 第61页 |
| ·切削速度对温度变化的影响 | 第61-63页 |
| ·切削厚度对纳米切削加工的影响 | 第63-66页 |
| ·工件结构形貌的变化 | 第63-65页 |
| ·切削厚度对切削力及势能变化的影响 | 第65-66页 |
| ·切削厚度对温度变化的影响 | 第66页 |
| ·金刚石刀具前角对纳米切削加工的影响 | 第66-69页 |
| ·工件结构形貌的变化 | 第67-68页 |
| ·前角对切削力变化的影响 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读硕士期间发表（含录用）的学术论文 | 第78页 |
