精密气浮定位平台直线伺服系统运动控制
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| ·课题来源及背景 | 第13页 |
| ·课题来源 | 第13页 |
| ·应用背景 | 第13页 |
| ·直线伺服驱动系统简介 | 第13-16页 |
| ·旋转电机驱动系统与直接驱动系统对比 | 第13-14页 |
| ·直线伺服驱动系统构成 | 第14-15页 |
| ·直线伺服驱动系统性能影响因素 | 第15-16页 |
| ·气浮平台运动系统简介 | 第16-18页 |
| ·直线伺服系统的控制 | 第18-22页 |
| ·传统控制策略 | 第18-19页 |
| ·现代控制策略 | 第19-21页 |
| ·双直线电机同步控制策略 | 第21-22页 |
| ·本文主要内容 | 第22-25页 |
| 第2章 控制系统硬件设计 | 第25-34页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·精密定位平台概述 | 第25-27页 |
| ·定位平台性能指标 | 第25-26页 |
| ·平台机械结构简介 | 第26-27页 |
| ·关键电气元件选型 | 第27-33页 |
| ·直线电机选型 | 第27-30页 |
| ·反馈器件选型 | 第30-31页 |
| ·驱动器及控制卡选型 | 第31-32页 |
| ·其他附件选型 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 直线伺服系统的建模 | 第34-56页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·控制系统的整体架构 | 第34页 |
| ·直线伺服系统建模 | 第34-41页 |
| ·永磁同步直线电机的数学模型 | 第34-38页 |
| ·驱动器的数学模型 | 第38-39页 |
| ·直线电机动力学模型 | 第39-41页 |
| ·模型参数的辨识 | 第41-48页 |
| ·系统辨识的方法 | 第42页 |
| ·辨识实验的步骤 | 第42-43页 |
| ·输入激励信号的设计 | 第43-45页 |
| ·辨识实验结果 | 第45-48页 |
| ·系统动力学及静态刚度分析 | 第48-53页 |
| ·动力学分析 | 第49-52页 |
| ·静态刚度分析 | 第52-53页 |
| ·气浮平台运动系统干扰分析 | 第53-54页 |
| ·机构内部干扰分析 | 第53-54页 |
| ·机构外部干扰分析 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第4章 直线电机控制器设计 | 第56-81页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·级联控制器的设计 | 第56-63页 |
| ·PID 控制器的基本原理 | 第56-59页 |
| ·控制器输出的抗饱和设计 | 第59-61页 |
| ·P/PI 控制器的设计 | 第61-63页 |
| ·干扰观测器的设计 | 第63-68页 |
| ·干扰观测器的原理 | 第64-65页 |
| ·滤波器的设计 | 第65-66页 |
| ·系统鲁棒性分析 | 第66-68页 |
| ·基于模型的前馈控制 | 第68-70页 |
| ·轨迹规划 | 第70-73页 |
| ·规划方法比较 | 第70-72页 |
| ·轨迹参数计算 | 第72-73页 |
| ·仿真与实验 | 第73-80页 |
| ·阶跃响应仿真 | 第74-75页 |
| ·干扰抑制仿真 | 第75-77页 |
| ·轨迹跟踪仿真 | 第77-78页 |
| ·实验与分析 | 第78-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第5章 双直线电机同步驱动控制器设计 | 第81-98页 |
| ·引言 | 第81页 |
| ·同步控制的基本方法 | 第81-86页 |
| ·主从控制法的原理 | 第81-82页 |
| ·主令并行控制法的原理 | 第82-83页 |
| ·交叉耦合控制法 | 第83-86页 |
| ·基于动学模型的前馈补偿控制器设计 | 第86-92页 |
| ·龙门架动力学建模 | 第87-91页 |
| ·基于动力学模型的前馈控制 | 第91-92页 |
| ·仿真与实验 | 第92-97页 |
| ·抗干扰性能仿真 | 第92-93页 |
| ·实验与结论 | 第93-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 第6章 总结与展望 | 第98-100页 |
| ·结论 | 第98-99页 |
| ·展望 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-104页 |
| 致谢 | 第104-105页 |
| 攻读硕士学位期间已发表的论文 | 第105-107页 |
