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碳氮纳米尖端的CVD制备及其表征

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-9页
1 绪论第9-23页
   ·引言第9页
   ·纳米材料概述第9-17页
     ·纳米材料的定义及研究现状第9-10页
     ·纳米材料的分类第10页
     ·纳米材料的特异效应第10-12页
     ·纳米材料的物理特性第12-14页
     ·纳米材料的化学特性第14页
     ·纳米材料的表征技术第14-15页
     ·纳米材料的应用第15-17页
   ·碳纳米尖端概述第17-21页
     ·碳纳米尖端的研究进展第17-18页
     ·碳纳米尖端的制备方法第18-20页
     ·碳纳米尖端的性能第20页
     ·碳纳米尖端的应用前景第20-21页
   ·课题研究的目的、内容及技术路线第21-22页
     ·课题研究的目的第21-22页
     ·课题研究的内容第22页
     ·课题研究的技术路线第22页
   ·课题研究的难点及拟解决的关键问题第22-23页
     ·课题研究的难点第22页
     ·课题研究拟解决的关键问题第22-23页
2 实验材料及方法第23-29页
   ·碳氮纳米尖端的制备设备第23-24页
   ·实验用原材料第24-25页
   ·碳氮纳米尖端的制备第25页
     ·碳膜的制备第25页
     ·碳氮纳米尖端的制备第25页
   ·碳氮纳米尖端的表征第25-28页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第25-26页
     ·显微 Raman 光谱仪第26-28页
     ·X 射线光电子谱仪第28页
   ·碳氮纳米尖端的场发射性能的测试第28-29页
3 实验结果与分析第29-55页
   ·碳膜的表征第29-30页
   ·不同刻蚀性气体比下生长的碳氮纳米尖端的形貌与结构第30-35页
     ·实验条件第30-31页
     ·碳氮纳米尖端的 FESEM 照片第31-32页
     ·碳氮纳米尖端的 Raman 图谱第32-34页
     ·不同刻蚀性气体比下生长的碳氮纳米尖端的形貌与结构分析第34-35页
   ·不同含碳气体流量下生长的碳氮纳米的形貌与结构第35-40页
     ·实验条件第35-36页
     ·碳氮纳米尖端的 FESEM 照片第36-38页
     ·碳氮纳米尖端的 Raman 图谱第38-39页
     ·不同含碳气体流量下生长碳氮纳米尖端的形貌与结构分析第39-40页
   ·不同工作压强下生长的碳氮纳米尖端的形貌与结构第40-43页
     ·实验条件第40-41页
     ·碳氮纳米尖端的 FESEM 照片第41页
     ·碳氮纳米尖端的 Raman 图谱第41-42页
     ·不同工作压强下生长碳氮纳米尖端生长的形貌与结构分析第42-43页
   ·不同偏压电流下生长的碳氮纳米尖端的形貌与结构第43-46页
     ·实验条件第43页
     ·碳氮纳米尖端的 FESEM 照片第43-44页
     ·碳氮纳米尖端的 Raman 图谱第44-45页
     ·不同偏压电流下生长的碳氮纳米尖端生长的形貌与结构分析第45-46页
   ·不同温度下生长的碳氮纳米尖端的形貌与结构第46-49页
     ·实验条件第46-47页
     ·碳氮纳米尖端的 FESEM 照片第47页
     ·碳氮纳米尖端的 Raman 图谱第47-48页
     ·不同温度下生长的碳氮纳米尖端的形貌与结构分析第48-49页
   ·不同沉积时间下生长的碳氮纳米尖端的形貌与结构第49-52页
     ·实验条件第49页
     ·碳氮纳米尖端的 FESEM 照片第49-51页
     ·碳氮纳米尖端的 Raman 图谱第51页
     ·不同沉积时间下生长的碳氮纳米尖端的形貌与结构分析第51-52页
   ·碳氮纳米尖端的 XPS 分析第52-53页
   ·碳氮纳米尖端的场电子发射性能第53-55页
4 讨论第55-63页
   ·碳氮纳米尖端的形成第55-56页
   ·碳氮纳米尖端的结构分析第56-57页
   ·沉积条件对碳氮纳米尖端生长的影响第57-61页
     ·刻蚀性气体比对碳氮纳米尖端生长的影响第57-58页
     ·含碳气体比对碳氮纳米尖端生长的影响第58页
     ·工作压强对碳氮纳米尖端生长的影响第58-59页
     ·偏压电流对碳氮纳米尖端生长的影响第59页
     ·基体表面温度对碳氮纳米尖端生长的影响第59-60页
     ·沉积时间对碳氮纳米尖端生长的影响第60-61页
   ·碳氮纳米尖端的场发射性能分析第61-63页
     ·碳氮纳米尖端的场致电子发射特征分析第61页
     ·碳氮纳米尖端与纯的碳纳米尖端的场发射性能比较第61-63页
5 结论第63-64页
致谢第64-65页
参考文献第65-72页
附录第72页
 A. 作者在攻读学位期间发表的论文目录第72页
 B. 作者在攻读学位期间取得取得的奖励第72页

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