| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第10-13页 |
| ·ZnO的晶体结构 | 第10-11页 |
| ·ZnO的掺杂性质 | 第11-13页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第13-18页 |
| ·ZnO在太阳能电池中的应用 | 第14-17页 |
| ·ZnO在其他领域的应用 | 第17-18页 |
| ·脉冲激光沉积法沉积AZO薄膜 | 第18-21页 |
| ·脉冲激光沉积的基本原理 | 第18-19页 |
| ·脉冲激光沉积主要影响因素 | 第19-20页 |
| ·脉冲激光沉积的优点 | 第20-21页 |
| ·AZO的其他主要制备方法 | 第21-22页 |
| ·磁控溅射 | 第21页 |
| ·金属有机化学气相沉积 | 第21页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第21-22页 |
| ·热喷涂法 | 第22页 |
| ·分子束外延法 | 第22页 |
| ·本文研究目的和主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 实验材料和方法 | 第23-34页 |
| ·靶材的选择 | 第23-24页 |
| ·衬底的选择 | 第24-25页 |
| ·实验设备 | 第25-26页 |
| ·实验方案设计 | 第26页 |
| ·实验过程 | 第26-28页 |
| ·AZO薄膜表征方法 | 第28-34页 |
| ·X射线衍射分析 | 第28-29页 |
| ·原子力显微镜 | 第29-30页 |
| ·扫描电子显微镜和能谱仪 | 第30-31页 |
| ·四探针电阻测试仪 | 第31-32页 |
| ·紫外-可见光分光光度计 | 第32-34页 |
| 第三章 PLD法制备AZO薄膜 | 第34-42页 |
| ·衬底温度对AZO薄膜的影响 | 第34-38页 |
| ·衬底温度对在载玻片衬底上沉积AZO薄膜的影响 | 第34-37页 |
| ·衬底温度对在ITO导电玻璃衬底上沉积AZO薄膜的影响 | 第37-38页 |
| ·氧气分压对AZO薄膜的影响 | 第38-41页 |
| ·氧气分压对在载玻片衬底上沉积AZO薄膜的影响 | 第38-40页 |
| ·氧气分压对在ITO导电玻璃衬底上沉积AZO薄膜的影响 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 不同条件下沉积AZO薄膜的表面形貌 | 第42-49页 |
| ·不同温度下AZO薄膜的表面形貌 | 第42-45页 |
| ·载玻片衬底上AZO薄膜的表面形貌 | 第42-43页 |
| ·ITO导电玻璃衬底上AZO薄膜的表面形貌 | 第43-45页 |
| ·不同氧气压下AZO薄膜表面形貌图 | 第45-48页 |
| ·载玻片衬底上AZO薄膜的表面形貌 | 第45-47页 |
| ·ITO导电玻璃衬底上AZO薄膜的表面形貌 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 AZO薄膜的光电性能 | 第49-55页 |
| ·AZO薄膜的电学性能 | 第49-52页 |
| ·电阻率随衬底温度的变化 | 第49-50页 |
| ·电阻率随氧气压的变化 | 第50页 |
| ·薄膜电阻率的修正 | 第50-52页 |
| ·AZO薄膜光学性能 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 全文总结 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 致谢 | 第61页 |