| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-10页 |
| ·课题来源以及研究意义 | 第7页 |
| ·国内外研究现状 | 第7-8页 |
| ·本文主要研究内容及安排 | 第8-10页 |
| 第二章 系统总体设计方案 | 第10-14页 |
| ·测量系统的总体方案 | 第10-11页 |
| ·测量系统基本组成 | 第11-14页 |
| 第三章 系统各组成部分设计 | 第14-32页 |
| ·精密机械传动及控制系统 | 第14-20页 |
| ·光学成像系统 | 第20-24页 |
| ·光栅位移传感检测系统 | 第24-27页 |
| ·计算机数据采集及处理系统 | 第27-32页 |
| 第四章 误差分析与补偿 | 第32-48页 |
| ·误差的分类 | 第32-33页 |
| ·测量系统误差分析 | 第33-42页 |
| ·测量数据分析 | 第42-44页 |
| ·系统误差的处理 | 第44-48页 |
| 结论 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-51页 |