高温盐酸缓蚀剂合成及应用研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·缓蚀剂发展与现状 | 第11-14页 |
| ·国内缓蚀剂发展与现状 | 第11-12页 |
| ·国外缓蚀剂发展与现状 | 第12-14页 |
| ·缓蚀剂的发展趋势 | 第14页 |
| ·缓蚀剂的分类 | 第14-17页 |
| ·按化学组成分类 | 第15页 |
| ·按电化学机理分类 | 第15-16页 |
| ·按生成保护膜的类型分类 | 第16-17页 |
| ·按应用介质分类 | 第17页 |
| ·按使用形式分类 | 第17页 |
| ·缓蚀剂的作用机理 | 第17-19页 |
| ·电化学理论 | 第17-18页 |
| ·成膜理论 | 第18页 |
| ·吸附理论 | 第18-19页 |
| ·缓蚀剂评价方法 | 第19-22页 |
| ·腐蚀产物分析法 | 第20页 |
| ·电化学方法 | 第20-22页 |
| ·表面分析技术 | 第22页 |
| ·研究意义及内容 | 第22-24页 |
| ·研究意义 | 第22页 |
| ·研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 实验仪器与测试方法 | 第24-29页 |
| ·实验药品与仪器 | 第24-25页 |
| ·主要药品 | 第24页 |
| ·主要仪器 | 第24页 |
| ·实验材料 | 第24-25页 |
| ·评价用酸液 | 第25页 |
| ·酸化缓蚀剂评价方法 | 第25-29页 |
| ·静态腐蚀评价 | 第25页 |
| ·高温高压动态腐蚀评价 | 第25-27页 |
| ·电化学测试 | 第27-28页 |
| ·电子显微镜扫描法 | 第28页 |
| ·电子能谱研究 | 第28页 |
| ·溶解分散性测定 | 第28-29页 |
| 第三章 主剂合成与表征 | 第29-38页 |
| ·Mannich主剂的合成 | 第29-32页 |
| ·合成原理 | 第29页 |
| ·合成方法 | 第29页 |
| ·主剂物理性能参数 | 第29页 |
| ·合成条件的优选 | 第29-32页 |
| ·母体缓蚀剂缓蚀效果比较 | 第32页 |
| ·咪唑啉季铵盐主剂的合成 | 第32-34页 |
| ·合成原理 | 第32-33页 |
| ·合成路线 | 第33页 |
| ·合成方法 | 第33页 |
| ·主剂物理性能参数 | 第33-34页 |
| ·合成条件的优化 | 第34页 |
| ·喹啉季铵盐主剂的合成 | 第34-35页 |
| ·合成原理 | 第34-35页 |
| ·合成路线 | 第35页 |
| ·合成方法 | 第35页 |
| ·主剂物理性能参数 | 第35页 |
| ·主剂结构表征 | 第35-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 第四章 缓蚀剂的复配与性能评价 | 第38-59页 |
| ·Mannich缓蚀剂的复配与评价 | 第38-42页 |
| ·表面活性剂的选择 | 第38页 |
| ·表面活性剂加量的确定 | 第38-39页 |
| ·缓蚀剂缓蚀效果评价 | 第39-42页 |
| ·咪唑啉季铵盐缓蚀剂的复配与性能评价 | 第42-45页 |
| ·表面活性剂的选择 | 第42页 |
| ·表面活性剂加量的确定 | 第42页 |
| ·咪唑啉季铵盐母体缓蚀效果评价 | 第42-45页 |
| ·喹啉季铵盐缓蚀剂的复配及性能评价 | 第45-50页 |
| ·主剂用量的确定 | 第45-46页 |
| ·表面活性剂的选择 | 第46页 |
| ·表面活性剂加量的确定 | 第46-47页 |
| ·喹啉季铵盐缓蚀剂缓蚀性能评价 | 第47-50页 |
| ·高温酸化缓蚀剂复配及性能评价 | 第50-58页 |
| ·主剂用量的确定 | 第50-52页 |
| ·复配比例的研究 | 第52-53页 |
| ·增效剂的研究 | 第53-55页 |
| ·高温缓蚀剂的性能评价 | 第55-57页 |
| ·不同酸液中缓蚀性能比较 | 第57页 |
| ·高温酸化缓蚀剂的稳定性实验 | 第57页 |
| ·高温酸化缓蚀剂的配伍性试验 | 第57-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 第五章 高温酸化缓蚀剂缓蚀机理研究 | 第59-78页 |
| ·极化曲线研究 | 第59-65页 |
| ·曼尼希缓蚀剂的极化曲线 | 第59-61页 |
| ·咪唑啉季铵盐缓蚀剂的极化曲线 | 第61-63页 |
| ·喹啉季铵盐缓蚀剂的极化曲线 | 第63-64页 |
| ·高温酸化缓蚀剂的极化曲线 | 第64-65页 |
| ·交流阻抗研究 | 第65-67页 |
| ·曼尼希碱缓蚀剂的交流阻抗谱 | 第65页 |
| ·咪唑啉季铵盐缓蚀剂的交流阻抗谱 | 第65-66页 |
| ·喹啉季铵盐缓蚀剂的交流阻抗谱 | 第66-67页 |
| ·高温酸化缓蚀剂的交流阻抗谱 | 第67页 |
| ·电镜扫描研究 | 第67-68页 |
| ·电子能谱研究 | 第68-70页 |
| ·高温酸化缓蚀剂的吸附等温式 | 第70-73页 |
| ·缓蚀机理探讨 | 第73-77页 |
| ·曼尼希碱缓蚀剂缓蚀机理 | 第73-74页 |
| ·咪唑啉季铵盐缓蚀剂缓蚀机理 | 第74-76页 |
| ·喹啉季铵盐缓蚀剂缓蚀机理 | 第76-77页 |
| ·高温酸化缓蚀剂的缓蚀机理 | 第77页 |
| ·小结 | 第77-78页 |
| 第六章 结论与认识 | 第78-80页 |
| ·结论 | 第78-79页 |
| ·建议 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第85-86页 |
| 详细摘要 | 第86-95页 |
