| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-33页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·太阳活动与 X 射线波段辐射 | 第13-14页 |
| ·掠入射 X 射线望远镜 | 第14-21页 |
| ·X 射线在物质表面传输特性 | 第14-15页 |
| ·掠入射 X 射线望远镜基本结构 | 第15-17页 |
| ·掠入射 X 射线望远镜的发展 | 第17-21页 |
| ·我国掠入射 X 射线望远镜的研究现状及镜面材料的选择 | 第21页 |
| ·常用的薄膜制备方法 | 第21-24页 |
| ·蒸发镀膜 | 第22页 |
| ·溅射镀膜技术 | 第22-23页 |
| ·脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition，PLD) | 第23页 |
| ·原子层沉积(Atomic layer deposition，ALD) | 第23-24页 |
| ·表面粗糙度测量方法 | 第24-28页 |
| ·机械探针扫描法 | 第24-25页 |
| ·光学干涉测量法 | 第25-26页 |
| ·原子力显微镜(Atomic force microscope，AFM) | 第26-28页 |
| ·表面散射理论 | 第28-30页 |
| ·标量散射理论 | 第28-29页 |
| ·矢量散射理论 | 第29页 |
| ·Harvey-Shack 线性系统理论 | 第29-30页 |
| ·本论文课题来源、研究工作意义和主要研究内容 | 第30-33页 |
| ·课题来源 | 第30页 |
| ·研究工作意义 | 第30-31页 |
| ·研究内容 | 第31-33页 |
| 第2章 X 射线表面散射理论 | 第33-45页 |
| ·表面模型和畸变波玻恩近似(Distorted Wave Born Approximation，DWBA)理论 | 第34-40页 |
| ·一级矢量微扰理论 | 第40-42页 |
| ·一级矢量微扰理论的适用性 | 第42-43页 |
| ·小结 | 第43-45页 |
| 第3章 X 射线散射实验装置、样品及其基本参数测量 | 第45-63页 |
| ·散射实验测量系统 | 第45-46页 |
| ·样品选择 | 第46-48页 |
| ·薄膜厚度的测量 | 第48-55页 |
| ·原理和方法 | 第49-53页 |
| ·原子层沉积 Al_2O_3薄膜表面粗糙度和厚度的测量 | 第53页 |
| ·结果和讨论 | 第53-55页 |
| ·一种准确估算薄膜质量密度ρ的方法-XRR_(DEN) | 第55-61页 |
| ·临界角误差对密度的影响 | 第56-57页 |
| ·用于准确估算薄膜质量密度ρ的 XRR_(DEN)法 | 第57-58页 |
| ·XRR_(DEN)法估算薄膜密度的实验结果和讨论 | 第58-61页 |
| ·小结 | 第61-63页 |
| 第4章 超光滑表面粗糙度测量 | 第63-91页 |
| ·一级矢量微扰法的误差分析 | 第63-72页 |
| ·接收狭缝宽度对 PSD 函数误差的影响 | 第63-68页 |
| ·入射光束宽度对 PSD 函数误差的影响 | 第68-71页 |
| ·系统校准误差的影响 | 第71-72页 |
| ·用原子力显微镜测量光学表面粗糙度 | 第72-77页 |
| ·原理 | 第72-73页 |
| ·AFM 测量及计算结果 | 第73-77页 |
| ·散射实验结果及数据分析 | 第77-89页 |
| ·表面散射分布 | 第77-78页 |
| ·掠入射角θ_0对样品 PSD 函数的影响 | 第78-82页 |
| ·不同表面粗糙度样品的 PSD 函数比较 | 第82-83页 |
| ·X 射线散射法与 AFM 测得的 PSD 函数的比较 | 第83-87页 |
| ·薄膜密度对 PSD 函数的影响 | 第87-89页 |
| ·本章小结 | 第89-91页 |
| 第5章 超光滑表面 X 射线异常散射现象的研究 | 第91-103页 |
| ·背景 | 第91-92页 |
| ·异常散射测量 | 第92页 |
| ·散射分布及异常散射角位置 | 第92-97页 |
| ·表面粗糙度对异常散射强度的影响 | 第97-99页 |
| ·异常散射峰的半高宽度(Full width at half maxium, FWHM) | 第99页 |
| ·薄膜密度与异常散射角 | 第99-101页 |
| ·小结 | 第101-103页 |
| 第6章 总结与展望 | 第103-107页 |
| ·总结 | 第103-104页 |
| ·论文主要创新点 | 第104页 |
| ·工作展望 | 第104-107页 |
| 参考文献 | 第107-115页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第115-117页 |
| 指导教师及作者简介 | 第117-119页 |
| 致谢 | 第119页 |
