| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 目录 | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-15页 |
| ·研究微位移系统的背景和意义 | 第6-7页 |
| ·国内外微位移系统的研究现状 | 第7-9页 |
| ·常见压电扫描器及其结构特点 | 第9-14页 |
| ·本课题研究内容和目的 | 第14-15页 |
| 第二章 紧凑型二维压电扫描器的结构设计与误差分析 | 第15-24页 |
| ·紧凑型二维压电扫描器的结构设计 | 第15-16页 |
| ·紧凑的"L"形扫描结构的提出 | 第15页 |
| ·结构原理上的运动耦合误差以及消除方法 | 第15-16页 |
| ·压电微位移器的特性 | 第16-21页 |
| ·压电叠堆结构及其位移特性 | 第17-18页 |
| ·压电叠堆性能参数的影响 | 第18-20页 |
| ·面锡式电极和铜片式电极压电叠堆及比较 | 第20页 |
| ·铜片式电极制作压电叠堆元件参数 | 第20-21页 |
| ·二维压电扫描器的机构误差分析 | 第21-24页 |
| ·非正交误差 | 第22-23页 |
| ·交叉耦合误差 | 第23-24页 |
| 第三章 压电精密微位移扫描器的空间位移误差分析 | 第24-39页 |
| ·利用泰曼-格林干涉系统测量压电陶瓷微位移器位移特性 | 第24-30页 |
| ·泰曼-格林干涉测量系统的建立 | 第24页 |
| ·干涉条纹的模板匹配算法分析 | 第24-26页 |
| ·两种类型的压电陶瓷微位移器的电压位移特性 | 第26-28页 |
| ·两种类型的压电陶瓷微位移器对运动耦合误差的影响 | 第28-30页 |
| ·压电微位移扫描器空间位移误差分析 | 第30-39页 |
| ·压电微位移扫描器的空间位移数学建模 | 第30-33页 |
| ·面锡式电极压电叠堆的位移误差与扫描影响分析 | 第33-37页 |
| ·铜片式电极压电叠堆的位移误差与扫描影响分析 | 第37页 |
| ·点接触式单点测量方式对精密扫描的影响 | 第37-39页 |
| 第四章 压电陶瓷驱动器的软件非线性校正 | 第39-42页 |
| ·压电叠堆非线性特性对二维扫描的影响 | 第39页 |
| ·压电陶瓷驱动器的软件非线性校正方法 | 第39-40页 |
| ·非线性误差的二维扫描图像畸变的软件仿真 | 第40-42页 |
| 第五章 新颖集成式高精度二维压电扫描器的驱动电源 | 第42-50页 |
| ·压电陶瓷驱动器的驱动电源的特点与分类 | 第42-43页 |
| ·基于精密高压放大芯片PA241的驱动电源的设计 | 第43-46页 |
| ·新型驱动电源的组成 | 第43页 |
| ·计算机接口 | 第43-44页 |
| ·精密高压放大芯片PA241的特性 | 第44页 |
| ·线性放大电路 | 第44-45页 |
| ·线性放大电路的稳定性分析 | 第45-46页 |
| ·驱动电源的PCB电路板设计 | 第46页 |
| ·驱动电源的性能测试 | 第46-50页 |
| ·输出电压线性度 | 第46-48页 |
| ·输出电压的静态纹波 | 第48-50页 |
| 第六章 二维压电扫描器在原子力显微镜中的应用 | 第50-54页 |
| ·原子力显微镜的原理 | 第50-51页 |
| ·使用二维压电扫描器的测试结果 | 第51-54页 |
| ·测试结果的图像处理与三维显示 | 第51-52页 |
| ·二维压电扫描器的重复性测试 | 第52-53页 |
| ·测试结果的精度分析 | 第53-54页 |
| 第七章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 硕士期间发表论文 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |