精密位移、振动测量的电容法研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 图表清单 | 第11-13页 |
| 1 引言 | 第13-17页 |
| ·精密测量的电容方法概述 | 第13-15页 |
| ·国内外研究现状 | 第15-16页 |
| ·本文研究任务 | 第16-17页 |
| 2 电容法精密位移、振动测量原理 | 第17-28页 |
| ·平行板电容传感器原理 | 第17-22页 |
| ·变极距型电容传感器 | 第17-20页 |
| ·变面积型电容传感器 | 第20-21页 |
| ·变介质型电容传感器 | 第21-22页 |
| ·电容式传感器等效电路 | 第22-23页 |
| ·几种测微电路的基本测量原理 | 第23-27页 |
| ·变压器式交流电桥电路 | 第23-24页 |
| ·二极管双T型电路 | 第24-25页 |
| ·调频法测量电路 | 第25-26页 |
| ·运算式放大电路 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 电容传感器优化设计 | 第28-40页 |
| ·传感器探头结构设计 | 第28-32页 |
| ·杂散电容 | 第28-29页 |
| ·探头的外屏蔽层设计 | 第29-30页 |
| ·电容的边缘效应及对测量的影响 | 第30页 |
| ·避免边缘效应的方法 | 第30-31页 |
| ·电容传感器探头结构设计最终方案 | 第31-32页 |
| ·减小和消除各类分布电容的方法 | 第32-36页 |
| ·浮地法 | 第32页 |
| ·动极接地法 | 第32页 |
| ·简缩联线法 | 第32-33页 |
| ·双屏蔽电缆 | 第33页 |
| ·驱动电缆技术 | 第33-36页 |
| ·传感器尺寸设计 | 第36-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 电容法精密位移、振动测量系统设计 | 第40-64页 |
| ·精密稳幅振荡器设计 | 第41-43页 |
| ·正弦波振荡器的振荡条件 | 第41-42页 |
| ·振荡器设计 | 第42-43页 |
| ·仪器主放大器电路设计 | 第43-44页 |
| ·精密整流电路设计 | 第44-45页 |
| ·动态滤波电路设计 | 第45-53页 |
| ·动态滤波器方案设计 | 第45-48页 |
| ·仿真分析与实际测试比较研究 | 第48-52页 |
| ·动态滤波器设计小结 | 第52-53页 |
| ·仪器的调零及输出灵敏度量化电路设计 | 第53页 |
| ·稳压电源设计 | 第53-55页 |
| ·动态数据采集设计 | 第55-63页 |
| ·采集卡主要技术指标 | 第56-57页 |
| ·数据采集卡接口定义 | 第57页 |
| ·采集函数介绍 | 第57-61页 |
| ·数据采集界面设计 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 5 电容测微仪稳定性及误差分析 | 第64-73页 |
| ·稳定性因素分析 | 第64-67页 |
| ·稳压电源与稳幅振荡器 | 第64页 |
| ·主放大器 | 第64-65页 |
| ·加屏蔽盒与接地 | 第65-66页 |
| ·传感器 | 第66页 |
| ·动态滤波电路与电路调零 | 第66-67页 |
| ·高稳定性数字显示表头 | 第67页 |
| ·电容测微仪测量误差分析 | 第67-72页 |
| ·由传感器制造误差而引起的测量误差 | 第67-68页 |
| ·驱动方案不完善产生的测量误差 | 第68页 |
| ·运算电路不理想产生的测量误差 | 第68-69页 |
| ·传感器安装倾斜产生的测量误差 | 第69-70页 |
| ·信号源幅值不稳定产生的测量误差 | 第70页 |
| ·温度漂移所产生的测量误差 | 第70-71页 |
| ·被测件曲率半径变化产生的测量误差 | 第71-72页 |
| ·工作介质介电常数变化产生的测量误差 | 第72页 |
| ·系统总的测量误差 | 第72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 6 数据采集、误差修正及仪器系统测试 | 第73-86页 |
| ·静态微位移测试 | 第73-76页 |
| ·动态精密振动测试 | 第76-82页 |
| ·敲击法产生振动信号 | 第76-78页 |
| ·利用压电陶瓷振动变形产生振动信号 | 第78-82页 |
| ·传感器测试结果的非线性修正方法 | 第82-85页 |
| ·一元线性回归 | 第83-84页 |
| ·曲线拟合 | 第84-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 7 论文总结与展望 | 第86-88页 |
| ·论文总结 | 第86-87页 |
| ·研究工作展望和建议 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-90页 |
| 附录A | 第90-91页 |
| 作者简历 | 第91-93页 |
| 学位论文数据集 | 第93页 |
