| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·MEMS CAD的研究现状 | 第9-12页 |
| ·MEMS建模及仿真方法 | 第12-17页 |
| ·MEMS仿真建模概论 | 第12-15页 |
| ·MEMS宏模型及其实现方法 | 第15-17页 |
| ·论文的研究意义 | 第17-18页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 基于Krylov子空间投影法的MEMS数值宏模型的生成 | 第20-30页 |
| ·模型降阶的必要性 | 第20-21页 |
| ·模型降阶的数学描述 | 第21-24页 |
| ·基于Krylov子空间投影法获取宏模型 | 第24-29页 |
| ·Krylov子空间的定义 | 第24页 |
| ·一阶Krylov子空间法 | 第24-27页 |
| ·二阶Krylov子空间法 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 系统级仿真平台设计与实现 | 第30-44页 |
| ·软件框架及实现流程 | 第30-32页 |
| ·有限元模型建立及数据生成 | 第31页 |
| ·系统状态方程建立及宏模型生成 | 第31页 |
| ·宏模型输出及系统级仿真 | 第31-32页 |
| ·MEMS系统级仿真平台MEMS_DUT的实现 | 第32-43页 |
| ·系统开发工具 | 第33-34页 |
| ·有限元软件ANSYS的二次开发 | 第34-36页 |
| ·降阶算法的实现及封装 | 第36-40页 |
| ·系统级仿真模块的实现及集成 | 第40-42页 |
| ·系统级仿真平台MEMs_DUT | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4 系统级仿真平台MEMS_DUT的原理及应用 | 第44-61页 |
| ·基于器件库的系统级平台MEMS_DUT的仿真分析 | 第44-54页 |
| ·系统级仿真平台MEMS_DUT应用理论概述原理 | 第44-47页 |
| ·MEMS_DUT仿真平台器件库的建立及实例分析 | 第47-53页 |
| ·MEMS_DUT仿真结果与ANSYS仿真结果对比分析 | 第53-54页 |
| ·任意MEMS器件单元的系统级平台MEMS_DUT仿真分析 | 第54-56页 |
| ·多物理场多器件单元的系统级平台MEMS_DUT仿真分析 | 第56-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
