溶胶—凝胶法研制ZAO透明导电薄膜
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-13页 |
| 第1 章绪论 | 第13-24页 |
| ·ZAO 薄膜的性质 | 第13-14页 |
| ·ZAO 薄膜的应用 | 第14-16页 |
| ·在太阳能电池方面的应用 | 第15页 |
| ·在平板显示器上的应用 | 第15页 |
| ·在热镜方面的应用 | 第15页 |
| ·在电磁屏蔽方面的应用 | 第15-16页 |
| ·在气敏传感器方面的应用 | 第16页 |
| ·ZAO 薄膜的制备 | 第16-19页 |
| ·磁控溅射法 | 第16-17页 |
| ·喷雾热分解法 | 第17页 |
| ·化学气相沉积法 | 第17-18页 |
| ·激光脉冲沉积法 | 第18页 |
| ·分子束外延法 | 第18页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第18-19页 |
| ·ZAO 薄膜的研究现状及发展趋势 | 第19-22页 |
| ·ZAO 薄膜的研究现状 | 第19-21页 |
| ·ZAO 薄膜研究工作的发展趋势 | 第21-22页 |
| ·本课题研究的目的和意义 | 第22-23页 |
| ·本课题的创新之处 | 第23-24页 |
| 第2 章溶胶-凝胶法镀膜原理 | 第24-30页 |
| ·溶胶-凝胶技术的发展过程 | 第24-25页 |
| ·溶胶-凝胶法镀膜原理 | 第25页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的特点 | 第25-26页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的方法 | 第26-27页 |
| ·浸渍提拉法 | 第26-27页 |
| ·旋涂法 | 第27页 |
| ·溶胶-凝胶法的工艺过程 | 第27-30页 |
| ·溶胶制备 | 第27-28页 |
| ·溶胶的凝胶化 | 第28-29页 |
| ·凝胶的干燥 | 第29页 |
| ·凝胶的热处理 | 第29-30页 |
| 第3章 实验材料与实验方法 | 第30-42页 |
| ·实验用原料与仪器 | 第30页 |
| ·实验原料 | 第30页 |
| ·主要试验仪器 | 第30页 |
| ·ZAO 薄膜制备工艺过程 | 第30-35页 |
| ·工艺流程图 | 第30-31页 |
| ·ZAO 溶胶的制备 | 第31页 |
| ·基片的清洗与干燥 | 第31-34页 |
| ·附着现象 | 第32-33页 |
| ·附着机理 | 第33-34页 |
| ·匀胶成膜 | 第34-35页 |
| ·旋涂镀膜 | 第34页 |
| ·湿膜的干燥 | 第34-35页 |
| ·预烧 | 第35页 |
| ·退火处理 | 第35页 |
| ·溶胶-凝胶法薄膜生长过程 | 第35-37页 |
| ·薄膜的表征及其原理 | 第37-42页 |
| ·X 射线衍射结构分析 | 第37-38页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第38页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第38-39页 |
| ·薄膜厚度测定方法及原理 | 第39-40页 |
| ·称重法 | 第39页 |
| ·电学方法 | 第39页 |
| ·光学方法 | 第39-40页 |
| ·粘度测定 | 第40页 |
| ·薄膜的透光率、反射率的测定 | 第40-41页 |
| ·方块电阻的测量 | 第41-42页 |
| 第4章 ZAO 薄膜的实验结果与分析 | 第42-71页 |
| ·工艺参数的优化 | 第42-44页 |
| ·正交设计实验表 | 第42-44页 |
| ·实验结果分析 | 第44页 |
| ·ZAO 薄膜的晶体结构分析 | 第44-48页 |
| ·退火温度对ZAO 薄膜晶体结构的影响 | 第44-46页 |
| ·掺杂浓度对ZAO 薄膜的晶体结构的影响 | 第46-48页 |
| ·ZAO 薄膜扫描电镜形貌分析 | 第48-49页 |
| ·ZAO 薄膜的AFM 形貌分析 | 第49-53页 |
| ·涂膜层数对表面形貌的影响 | 第49-50页 |
| ·溶胶浓度对表面形貌的影响 | 第50-51页 |
| ·退火温度对薄膜表面形貌的影响 | 第51-53页 |
| ·ZAO 薄膜的厚度及其影响因素 | 第53-56页 |
| ·涂膜层数和溶胶浓度对厚度的影响 | 第53-54页 |
| ·预烧温度对膜厚的影响 | 第54-55页 |
| ·退火温度对膜厚的影响 | 第55页 |
| ·匀胶速度对膜厚的影响 | 第55-56页 |
| ·ZAO 薄膜的的光学性能 | 第56-62页 |
| ·薄膜的的紫外可见光透射谱分析 | 第56-60页 |
| ·掺杂浓度对薄膜透光率的影响 | 第57-58页 |
| ·退火温度对薄膜透光率的影响 | 第58-59页 |
| ·涂膜层数对薄膜透光率的影响 | 第59-60页 |
| ·溶胶浓度对薄膜透光率的影响 | 第60页 |
| ·薄膜的红外反射光谱分析 | 第60-62页 |
| ·不同掺杂浓度的对红外反射率的影响 | 第61-62页 |
| ·薄膜厚度对红外反射率的影响 | 第62页 |
| ·ZAO 薄膜的电学性能 | 第62-71页 |
| ·薄膜特有的电学性质 | 第62-63页 |
| ·ZAO 薄膜导电机制 | 第63-67页 |
| ·掺杂浓度对薄膜方块电阻的影响 | 第67-68页 |
| ·退火温度对薄膜方块电阻的影响 | 第68-69页 |
| ·退火时间对薄膜方块电阻的影响 | 第69-71页 |
| 第5章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
