| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| ·精密位移测量的意义 | 第10-11页 |
| ·栅式位移测量技术的发展与现状 | 第11-14页 |
| ·传统的栅式位移传感器 | 第11-13页 |
| ·栅式位移测量技术的现状 | 第13-14页 |
| ·本文的背景、来源和意义 | 第14-15页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第15-18页 |
| 2 位移测量中的空间与时间 | 第18-26页 |
| ·位移的空间描述和时间描述 | 第18页 |
| ·两种位移测量模型 | 第18-21页 |
| ·位移的空间测量模型 | 第18-19页 |
| ·位移的时间测量模型 | 第19-21页 |
| ·位移测量中的时空坐标转换思想 | 第21-25页 |
| ·引例 | 第21-22页 |
| ·时空坐标转换思想 | 第22-25页 |
| ·空间栅与时间栅 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 三种栅式位移传感器原理分析 | 第26-52页 |
| ·引言 | 第26-27页 |
| ·光栅式位移传感器测量原理 | 第27-32页 |
| ·光栅位移传感器中的莫尔条纹 | 第27-29页 |
| ·光栅中莫尔条纹的特点 | 第29-30页 |
| ·光栅的非调制工作方式 | 第30-31页 |
| ·光栅的相位调制工作方式 | 第31-32页 |
| ·感应同步器测量原理 | 第32-36页 |
| ·感应同步器中的电磁耦合 | 第32-34页 |
| ·感应同步器的鉴幅工作方式 | 第34-35页 |
| ·感应同步器的鉴相工作方式 | 第35-36页 |
| ·场式时栅位移传感器原理 | 第36-43页 |
| ·无刻线单齿式时栅 | 第38-39页 |
| ·差频双联齿式时栅 | 第39-40页 |
| ·场式时栅 | 第40-43页 |
| ·传统栅式位移传感器三种工作方式测量原理分析 | 第43-51页 |
| ·非调制工作方式测量原理分析 | 第43-45页 |
| ·鉴幅工作方式测量原理分析 | 第45-46页 |
| ·鉴相工作方式测量原理分析 | 第46-49页 |
| ·时栅位移传感器与非调制式光栅及鉴相式感应同步器的比较 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 4 三种栅式位移传感器原理融合与行波形成新方法 | 第52-66页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·电机结构的场式时栅电磁场分析 | 第52-58页 |
| ·电机结构场式时栅中的磁势波 | 第53-56页 |
| ·场式时栅位移传感器转子线圈的感应电势 | 第56-58页 |
| ·空间行波与时间行波 | 第58-60页 |
| ·时间行波形成新方法 | 第60-64页 |
| ·时栅与感应同步器的融合 | 第60-63页 |
| ·时栅与光栅的融合 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 5 三种新型时栅位移传感器设计 | 第66-80页 |
| ·引言 | 第66页 |
| ·齿电式时栅设计 | 第66-76页 |
| ·结构设计 | 第66-67页 |
| ·工作原理 | 第67页 |
| ·硬件电路设计 | 第67-76页 |
| ·软件设计 | 第76页 |
| ·变耦式时栅设计 | 第76-78页 |
| ·光电式时栅设计 | 第78-80页 |
| 6 三种时栅位移传感器实验研究 | 第80-102页 |
| ·引言 | 第80页 |
| ·齿电式时栅实验研究 | 第80-96页 |
| ·行波形成实验 | 第81-85页 |
| ·齿电式时栅的性能测试实验 | 第85-96页 |
| ·变耦式时栅实验研究 | 第96-99页 |
| ·行波形成实验 | 第97-98页 |
| ·变耦式时栅的性能测试实验 | 第98-99页 |
| ·光电式时栅实验研究 | 第99-102页 |
| 7 齿电式时栅传感器误差分析与误差测量新方法 | 第102-114页 |
| ·引言 | 第102页 |
| ·误差分析 | 第102-110页 |
| ·随机误差来源分析 | 第102-104页 |
| ·系统误差分析 | 第104-110页 |
| ·时栅传感器的误差测量新方法 | 第110-112页 |
| ·本章小结 | 第112-114页 |
| 8 总结与展望 | 第114-116页 |
| ·总结 | 第114-115页 |
| ·展望 | 第115-116页 |
| 致谢 | 第116-118页 |
| 参考文献 | 第118-124页 |
| 附录 | 第124-126页 |
| A 作者在攻读博士学位期间发表的论文 | 第124-125页 |
| B 作者在攻读博士学位期间参加的科研项目 | 第125-126页 |
| C 作者在攻读博士学位期间获得科研成果奖励 | 第126页 |