微F-P腔可调谐滤波器的结构设计和工艺研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·微F-P 腔可调谐滤波器阵列的发展历程 | 第9-12页 |
| ·微F-P 腔可调谐滤波器阵列的应用 | 第12-15页 |
| ·微F-P 腔可调谐滤波器阵列的发展方向 | 第15页 |
| ·本文的主要工作 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 2 微F-P 腔可调谐滤波器阵列的总体设计 | 第17-27页 |
| ·微F-P 腔可调谐滤波器的基本结构设计 | 第17-19页 |
| ·微F-P 腔可调谐滤波器的尺寸设计 | 第19-25页 |
| ·微F-P 腔可调谐滤波器的制作材料选择 | 第25-26页 |
| ·微F-P 腔可调谐滤波器阵列的控制方式 | 第26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 微F-P 腔可调谐滤波器的制作工艺步骤 | 第27-51页 |
| ·工艺简介 | 第27-40页 |
| ·微F-P 腔可调谐滤波器的掩膜版设计与制作流程 | 第40-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 4 新结构的研究与设计 | 第51-56页 |
| ·新结构的设计 | 第51-53页 |
| ·新结构的改进 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 5 悬空微桥结构分析 | 第56-62页 |
| ·悬空金属铝微桥结构 | 第56页 |
| ·悬空镍铬与金交替金属微桥 | 第56-57页 |
| ·悬空二氧化硅介质微桥结构 | 第57-58页 |
| ·待解决的问题 | 第58-59页 |
| ·微滤波器与非致冷红外焦平面的集成应用 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 6 总结与展望 | 第62-66页 |
| ·全文总结 | 第62-64页 |
| ·后续工作的开展 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第71页 |
