| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-15页 |
| §1.1 光学球面曲率半径检测常规方法 | 第7-12页 |
| ·环式球径仪测量球面的曲率半径 | 第7-8页 |
| ·牛顿环干涉测量球面的曲率半径 | 第8-10页 |
| ·平板横向剪切干涉法测量球面的曲率半径 | 第10-11页 |
| ·自准直显微镜法测量球面的曲率半径 | 第11-12页 |
| §1.2 白光等厚干涉测量光学球面曲率半径原理 | 第12-13页 |
| §1.3 光学球面曲率半径自动测量系统整体构想及优势 | 第13-15页 |
| ·光学球面曲率半径自动测量系统整体构想 | 第13-14页 |
| ·光学球面曲率半径自动测量系统的优势 | 第14-15页 |
| 第二章 光学球面曲率半径自动测量系统各子系统设计 | 第15-42页 |
| §2.1 迈克尔逊白光干涉系统 | 第15-17页 |
| §2.2 莫尔光栅位移测量系统 | 第17-29页 |
| ·光栅位移测量装置 | 第17-19页 |
| ·放大整形、细分和判向 | 第19-28页 |
| ·计算机输入／输出接口电路 | 第28-29页 |
| §2.3 CCD图象采集与处理系统 | 第29-42页 |
| ·物像两方远心成像系统 | 第30-33页 |
| ·面阵CCD光学系统 | 第33-37页 |
| ·数字图像处理 | 第37-42页 |
| 第三章 实验与分析 | 第42-49页 |
| §3.1 光学球面曲率半径测量实验结果 | 第42-47页 |
| §3.2 光学球面曲率半径测量实验结果分析 | 第47-49页 |
| 第四章 总结与展望 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 硕士阶段完成的论文 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |